[实用新型]一种用于裸片真空传递的传递装置

说明书

本实用新型提供了一种用于裸片真空传递的传递装置，传样杆(1)、裸片车(2)和传样载具；所述传样载具控制并连接所述传样杆(1)；所述裸片车(2)上设置有裸片架；所述裸片架用于架设裸片(10)；所述传样杆(1)包括抓取杆(3)与缓冲套件(4)；所述缓冲套件(4)滑动套接在所述抓取杆(3)上；所述抓取杆(3)上设置有抓取口(5)；所述缓冲套件(4)上设置有固定口(6)；所述裸片车(2)上设置有对接口(7)；所述缓冲套件(4)上设置有与所述对接口(7)对应的对接头(8)；所述抓取杆(3)上设置有抓取口(5)。本实用新型的有益效果是：裸片不会受力损坏或者在传递过程中掉落，具有高操作性、可靠性和兼容性。

技术领域

本实用新型涉及裸片传递领域，特别涉及一种用于裸片真空传递的传递装置。

背景技术

在传统的裸片传递作业过程中，如CN201510316951.4，往往采用粘接或者利用气压的方式进行，但是该种方式一方面会对裸片表面造成污染，另一方面其也无法应用到真空环境中，并且对于不同类型的裸片，需要设计不同的作业方式，兼容性不足。

故市场亟需一种可以在保证裸片不会受力损坏或者在传递过程中掉落的前提下，具有高操作性、可靠性和兼容性的用于裸片真空传递的传递装置。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型中披露了一种用于裸片真空传递的传递装置，本实用新型的技术方案是这样实施的：

一种用于裸片真空传递的传递装置，其特征在于：传样杆(1)、裸片车(2) 和传样载具；所述传样载具控制并连接所述传样杆(1)；所述传样载具上设置有上下移动电机；所述传样杆(1)通过所述上下移动电机上下移动；所述传样杆(1)包括抓取杆(3)与缓冲套件(4)；所述缓冲套件(4)滑动套接在所述抓取杆(3)上；所述抓取杆(3)上设置有抓取口(5)；所述缓冲套件(4)上设置有固定口(6)；所述裸片车(2)上设置有对接口(7)；所述缓冲套件(4) 上设置有与所述对接口(7)对应的对接头(8)。

优选地，所述裸片车(2)设置在导轨上。

优选地，所述传样载具设置在导轨上。

优选地，所述传样载具上设置有水平翻转电机；所述传样杆(1)通过所述水平翻转电机水平翻转。

优选地，所述抓取杆(3)上设置有栅栏状孔洞(9)。

优选地，所述传样载具上设置有圆心运动电机；所述传样杆(1)通过所述圆心运动电机所述传样载具为圆心进行转动。

优选地，所述裸片(10)为的直径在39-46mm之间。

优选地，所述裸片车(2)替换为OMBE样品架。

实施本实用新型的技术方案可解决现有技术中无法在保证裸片不会受力损坏或者在传递过程中掉落的前提下，具有高操作性、可靠性和兼容性的技术问题；实施本实用新型的技术方案，可实现在保证裸片不会受力损坏或者在传递过程中掉落的前提下，具有高操作性、可靠性和兼容性的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为在一种具体的实施例中一种用于裸片真空传递的传递装置的整体结构示意图；

图2为在一种具体的实施例中一种用于裸片真空传递的传递装置的裸片车结构示意图；

图3为在一种具体的实施例中一种用于裸片真空传递的传递装置的传样杆结构示意图；

图4为在一种具体的实施例中一种用于裸片真空传递的传递装置的放入状态示意图；