[实用新型]一种用于裸片真空传递的传递装置有效
| 申请号： | 202020789164.8 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN213474676U | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 赵嘉峰;谢斌平;刘锐 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 传递 装置 | ||
1.一种用于裸片真空传递的传递装置，其特征在于：传样杆(1)、裸片车(2)和传样载具；所述传样载具控制并连接所述传样杆(1)；所述传样载具上设置有上下移动电机；所述传样杆(1)通过所述上下移动电机上下移动；
所述裸片车(2)上设置有裸片架；所述裸片架用于架设裸片(10)；
所述传样杆(1)包括抓取杆(3)与缓冲套件(4)；所述缓冲套件(4)滑动套接在所述抓取杆(3)上；所述抓取杆(3)上设置有抓取口(5)；所述缓冲套件(4)上设置有固定口(6)；
所述裸片车(2)上设置有对接口(7)；所述缓冲套件(4)上设置有与所述对接口(7)对应的对接头(8)。
2.根据权利要求1所述的一种用于裸片真空传递的传递装置，其特征在于：所述裸片车(2)设置在导轨上。
3.根据权利要求1所述的一种用于裸片真空传递的传递装置，其特征在于：所述传样载具设置在导轨上。
4.根据权利要求1所述的一种用于裸片真空传递的传递装置，其特征在于：所述传样载具上设置有水平翻转电机；所述传样杆(1)通过所述水平翻转电机水平翻转。
5.根据权利要求1所述的一种用于裸片真空传递的传递装置，其特征在于：所述抓取杆(3)上设置有栅栏状孔洞(9)。
6.根据权利要求1所述的一种用于裸片真空传递的传递装置，其特征在于：所述裸片的直径在39-46mm之间。
7.根据权利要求1所述的一种用于裸片真空传递的传递装置，其特征在于：所述裸片车(2)替换为OMBE样品架。
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