[实用新型]带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备

说明书

本实用新型公开了一种带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备，其中所涉及带有清洁功能的机械手包括承重臂及清洁机构，所述清洁机构具有固定设置于所述承重臂下侧且内部形成有空腔的本体部，所述本体部设置有与所述空腔连通以对所述空腔抽气或供气的气管连接口以及供所述空腔连通至外界的清洁口；基于本实用新型所提供带有清洁功能的机械手，在管式PECVD设备的具体应用场景中，通过对清洁机构的气管连接口进行抽气动作，可以将炉管内的碎片等异物吸附至本体部的空腔内，进而可在炉管外部进行碎片等异物的排出动作，如此可有效避免现有技术所存在耽误生产进程、污染及损伤炉管等问题。

技术领域

本实用新型涉及光伏制造装备领域，尤其涉及一种带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备。

背景技术

PECVD即等离子体增强化学气相沉积设备，在光伏太阳能电池领域可用于制作硅片表面的减反射膜，现有的PECVD设备包括炉管以及设置于炉管一侧用于将石墨舟推入或拉出炉管的机械手。在PECVD设备运行时，装载于石墨舟内的硅片会出现破碎而导致碎片掉落在炉管内部的情况，若不及时清理，碎片易压在炉管内热电偶探头上导致热电偶测温不准确，还会影响炉管内硅片镀膜时的洁净度。目前清理炉管内碎片的办法只有停产降温，然后用普通吸尘器或清理耙等工具进行人工手动清理，然该办法既耽误生产进程和产量，还存在进一步污染炉管的风险，甚至会增加炉管破裂的风险。

有鉴于此，有必要提供一种改进的技术方案以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术存在的技术问题之一，为实现上述实用新型目的，本实用新型提供了一种带有清洁功能的机械手，其具体设计方式如下。

一种带有清洁功能的机械手，包括承重臂，所述机械手还包括清洁机构，所述清洁机构具有固定设置于所述承重臂下侧且内部形成有空腔的本体部，所述本体部设置有与所述空腔连通以对所述空腔抽气或供气的气管连接口以及供所述空腔连通至外界的清洁口。

进一步，所述清洁机构还包括设置于所述空腔内将所述空腔一分为二的隔板，所述隔板具有若干间隔分布的通孔，所述气管连接口与所述清洁口分别连通至所述空腔位于所述隔板两侧的空间。

进一步，所述本体部的延伸方向与所述承重臂的长度方向一致，且具有位于其延伸方向上的前端与后端，所述清洁口设置于所述本体部前端且连通至所述本体部的下侧空间，所述气管连接口设置于所述本体部后端。

进一步，所述本体部具有构成所述空腔下侧壁体的底板，在与所述本体部延伸方向相垂直的平面上，所述底板的截面呈中间低两侧高的弧形。

进一步，所述本体部具有与所述清洁口相对设置的手工清理窗以及可拆卸设置于所述手工清理窗上的盖板。

进一步，所述承重臂包括一对在同一水平面上间隔设置且延伸方向均与所述承重臂长度方向一致的支管以及与两所述支管固定连接的固定管。

进一步，所述机械手还包括与所述承重臂连接以驱动所述承重臂沿其长度方向前后移动的驱动机构。

进一步，所述清洁机构还包括连接至所述气管连接口的气管。

进一步，所述清洁机构还具有与所述气管远离所述气管连接口一端连接的空气压缩机。

本实用新型还提供了一种管式PECVD设备，其包括炉管及石墨舟，所述管式PECVD设备还包括供石墨舟进出所述炉管如以上所述带有清洁功能的机械手。

本实用新型的有益效果是：基于本实用新型所提供带有清洁功能的机械手，在管式PECVD设备的具体应用场景中，通过对清洁机构的气管连接口进行抽气动作，可以将炉管内的碎片等异物吸附至本体部的空腔内，进而可在炉管外部进行碎片等异物的排出动作，如此可有效避免现有技术所存在耽误生产进程、污染及损伤炉管等问题。

附图说明