[实用新型]带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备

权利要求书

1.一种带有清洁功能的机械手，包括承重臂，其特征在于，所述机械手还包括清洁机构，所述清洁机构具有固定设置于所述承重臂下侧且内部形成有空腔的本体部，所述本体部设置有与所述空腔连通以对所述空腔抽气或供气的气管连接口以及供所述空腔连通至外界的清洁口。

2.根据权利要求1所述带有清洁功能的机械手，其特征在于，所述清洁机构还包括设置于所述空腔内将所述空腔一分为二的隔板，所述隔板具有若干间隔分布的通孔，所述气管连接口与所述清洁口分别连通至所述空腔位于所述隔板两侧的空间。

3.根据权利要求1或2所述带有清洁功能的机械手，其特征在于，所述本体部的延伸方向与所述承重臂的长度方向一致，且具有位于其延伸方向上的前端与后端，所述清洁口设置于所述本体部前端且连通至所述本体部的下侧空间，所述气管连接口设置于所述本体部后端。

4.根据权利要求3所述带有清洁功能的机械手，其特征在于，所述本体部具有构成所述空腔下侧壁体的底板，在与所述本体部延伸方向相垂直的平面上，所述底板的截面呈中间低两侧高的弧形。

5.根据权利要求1或2所述带有清洁功能的机械手，其特征在于，所述本体部具有与所述清洁口相对设置的手工清理窗以及可拆卸设置于所述手工清理窗上的盖板。

6.根据权利要求1或2所述带有清洁功能的机械手，其特征在于，所述承重臂包括一对在同一水平面上间隔设置且延伸方向均与所述承重臂长度方向一致的支管以及与两所述支管固定连接的固定管。

7.根据权利要求1或2所述带有清洁功能的机械手，其特征在于，所述机械手还包括与所述承重臂连接以驱动所述承重臂沿其长度方向前后移动的驱动机构。

8.根据权利要求1或2所述带有清洁功能的机械手，其特征在于，所述清洁机构还包括连接至所述气管连接口的气管。

9.根据权利要求8所述带有清洁功能的机械手，其特征在于，所述清洁机构还具有与所述气管远离所述气管连接口一端连接的空气压缩机。

10.一种管式PECVD设备，包括炉管及石墨舟，其特征在于，所述管式PECVD设备还包括供石墨舟进出所述炉管如权利要求1-9任意一项所述带有清洁功能的机械手。