[实用新型]一种半导体基片加工夹具

权利要求书

1.一种半导体基片加工夹具，其特征在于，包括底座框架(1)，分别设置于底座框架(1)左右两侧的用于调节夹持半径的横向调节结构(2)，与横向调节结构(2)固定连接并与底座框架(1)滑动连接的固定块(3)，设置于固定块(3)上夹持半环机构，设置于固定块(3)上用于调节夹持半环机构高度的高度调节螺杆(4)，设置于夹持半环机构上的充气胶垫(5)，设置于固定块(3)上用于向充气胶垫(5)泵气的气泵(6)，以及竖向设置于底座框架(1)中部的传送装置(7)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体基片加工夹具，其特征在于，所述横向调节结构(2)包括设置于底座框架上的滚珠丝杆(8)，与滚珠丝杆(8)螺纹连接的丝杆滑台(9)，以及设置于滚珠丝杆(8)远离底座框架(1)的端头设置的旋转手柄(10)；其中，所述丝杆滑台(9)与固定块(3)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体基片加工夹具，其特征在于，所述固定块两端设置有滑条凸起(11)，所述底座框架(1)上设置有与滑条凸起(11)对应的滑槽(12)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体基片加工夹具，其特征在于，所述夹持半环机构包括开设于固定块(3)上的安装槽(13)，设置于安装槽(13)内的弹簧(14)，与弹簧(14)另一端相连的连接块(15)，以及与连接块(15)朝向底座框架(1)内的侧壁相连的夹持半环(16)；其中，所述高度调节螺杆(4)贯穿固定块(3)的上部与连接块(15)的上端相抵；所述充气胶垫(5)紧贴夹持半环(16)的内侧壁设置，且具有与夹持半环(16)一样的弧度。

5.根据权利要求4所述的一种半导体基片加工夹具，其特征在于，所述传送装置(7)包括设置于底座框架(1)前端的主动滚轴(17)和设置于主动滚轴(17)后方的若干从动滚轴(18)，以及通过链条(19)与主动滚轴(17)相连的驱动电机(20)。