[实用新型]一种半导体配件生产用夹紧装置有效
| 申请号: | 202020740042.X | 申请日: | 2020-05-08 |
| 公开(公告)号: | CN211654797U | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
| 发明(设计)人: | 刘伟 | 申请(专利权)人: | 苏州吉博斯精密机械有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人: | 严明 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 配件 生产 夹紧 装置 | ||
1.一种半导体配件生产用夹紧装置,包括第三支撑杆(12),其特征在于:所述第三支撑杆(12)的内部设置有电动伸缩杆(13),所述电动伸缩杆(13)设置有两个,两个所述电动伸缩杆(13)对称设置,所述电动伸缩杆(13)与第三支撑杆(12)固定连接,所述电动伸缩杆(13)上设置有特质制夹具(14),所述特质制夹具(14)与电动伸缩杆(13)固定连接,所述特质制夹具(14)上设置有圆柱夹板(15),所述圆柱夹板(15)设置有两个,两个所述圆柱夹板(15)对称设置,所述圆柱夹板(15)与特质制夹具(14)固定连接,所述圆柱夹板(15)上设置有电磁铁(16),所述电磁铁(16)呈圆弧型,所述电磁铁(16)设置有多个,多个所述电磁铁(16)对称设置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体配件生产用夹紧装置,其特征在于:所述第三支撑杆(12)的一侧设置有第二支撑杆(10),所述第二支撑杆(10)上第二电动转轴(11),所述第三支撑杆(12)和第二支撑杆(10)通过第二电动转轴(11)连接,所述第二支撑杆(10)的一侧设置有第一支撑杆(8),所述第一支撑杆(8)上设置有第一电动转轴(9),所述第一支撑杆(8)和第二支撑杆(10)通过第一电动转轴(9)连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体配件生产用夹紧装置,其特征在于:所述第一电动转轴(9)的下端设置有转向台(7),所述转向台(7)呈圆柱型,所述转向台(7)与第一支撑杆(8)固定连接,所述转向台(7)的下端设置有电机(6),所述电机(6)与转向台(7)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体配件生产用夹紧装置,其特征在于:所述转向台(7)的下端设置有设备柜体(1),所述设备柜体(1)与电机(6)固定连接,所述设备柜体(1)上设置有维修工具储放间(2),所述维修工具储放间(2)与设备柜体(1)间隙配合,所述维修工具储放间(2)上设置有把手(3),所述把手(3)与维修工具储放间(2)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种半导体配件生产用夹紧装置,其特征在于:所述维修工具储放间(2)的下端设置有连接层(4),所述连接层(4)设置有两个,两个所述连接层(4)对称设置,所述连接层(4)与设备柜体(1)固定连接,所述连接层(4)上设置有固定螺栓(5),所述固定螺栓(5)设置有多个,多个所述固定螺栓(5)对称设置,所述固定螺栓(5)与连接层(4)固定连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





