[实用新型]硅片送料启动检测装置其送料装置

说明书

本实用新型涉一种硅片送料检测装置，尤其是硅片送料启动检测装置，包括升降装置，所述升降装置位于料盒的上方；升降座，所述升降座安装在检测升降装置上；进料传感器，所述进料传感器安装在升降座上；检测杆，所述检测杆转动安装在升降座上，所述检测杆的一端用于与料盒中的硅片接触，所述检测杆的另一端用于检测杆一端与硅片接触后触发所述进料传感器；检测复位装置，所述检测复位装置安装在检测杆与升降座之间，所述检测复位装置用于检测杆保持不触发所述进料传感器的状态。本实用新型提供的硅片送料启动检测装置将传感器设置在水槽的外部，不受水槽中泥沙影响，检测结果准确可靠，并且传感器使用寿命长。

技术领域

本实用新型涉一种硅片送料检测装置，尤其是硅片送料启动检测装置其送料装置。

背景技术

料盒中装有初步清洗过的硅片，硅片叠加在一起，需要对硅片进行分片，现有的硅片分片机通过水刀将硅片分离，然后通过竖向送料装置和变向送料装置以送料导轨将硅片依次插到花篮上。由于硅片的分片是浸没在水中进行的，水刀上的进料一侧装有对射式光电传感器，送料驱动装置在料盒放入到送料导轨上后启动，通过送料杆推动料盒向水刀移动，当光电传感器检测到硅片后降低送料驱动装置的移动速度，将送料驱动装置的移动方式切换为分片驱动，送料驱动装置推动料盒在送料导轨上向水刀缓慢移动，水刀进行分片，分片后的硅片被竖向送料装置的吸片平带吸附上升。由于硅片仅仅是初步清洗，因此含有大量的泥沙，而在分片过程中泥沙留在水槽中导致水中含有大量的泥沙和硅片碎片，因此在更换为清水后使用一段时间后，水槽中的泥沙较多，水很浑浊，影响了对射式光电传感器检测硅片，容易检测到错误的结果，导致生产不能正常进行，比如没有放入料盒，而光电传感器的光线被阻断，系统误以为已经装入装有硅片的料盒，启动送料装置和水刀进行分片操作，而实际上并没有放入料盒，设备启动后需要人工重新操作将设备复位，大大影响了生产效，同时由于水中具有腐蚀性大大缩短了光电传感器的使用寿命。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种不受水槽中泥沙影响，检测结果准确可靠，传感器使用寿命长的硅片送料启动检测装置，具体技术方案为：

硅片送料启动检测装置，包括升降装置，所述升降装置位于料盒的上方；升降座，所述升降座安装在检测升降装置上；进料传感器，所述进料传感器安装在升降座上；检测杆，所述检测杆转动安装在升降座上，所述检测杆的一端用于与料盒中的硅片接触，所述检测杆的另一端用于检测杆一端与硅片接触后触发所述进料传感器；检测复位装置，所述检测复位装置安装在检测杆与升降座之间，所述检测复位装置用于检测杆保持不触发所述进料传感器的状态。

通过采用上述技术方案，升降装置将检测杆插入到水槽中，当料盒在送料驱动装置的推动下与检测杆接触并推动检测杆，检测杆发生转动，检测杆的另一端移动到进料传感器的下方，进料传感器检测到信号，将送料驱动装置的移动方式切换为分片送料，同时升降装置将检测杆从水槽中升起，不影响送料。

由于进料传感器不在水槽内，因此不受水槽内泥沙的影响，大大提高了检测的准确性，同时延长了进料传感器的使用寿命。

进一步的，所述检测升降装置包括检测气缸，所述检测气缸固定在料盒的上方，所述升降座固定在检测气缸的活塞杆上。

通过采用上述技术方案，采用检测气缸使结构和控制简单，并且检测杆缩回的速度快。

进一步的，所述进料传感器为接近开关或微动开关。

进一步的，所述检测复位装置包括弹簧，所述弹簧的一端固定在升降座上，另一端固定在检测杆上。

通过采用上述技术方案，弹簧使检测杆的另一端保持远离进料传感器，避免发生误检，提高检测的准确性。弹簧可以采用扭簧、拉簧和圆柱弹簧等。

进一步的，还包括转动座，所述转动座固定在升降座上，所述转动座上设有转动槽，所述检测杆转动安装在转动槽内，所述弹簧的一端安装在转动槽内，另一端压在检测杆上。