[实用新型]硅片送料启动检测装置其送料装置

权利要求书

1.硅片送料启动检测装置，其特征在于，包括

升降装置，所述升降装置位于料盒的上方；

升降座，所述升降座安装在检测升降装置上；

进料传感器，所述进料传感器安装在升降座上；

检测杆，所述检测杆转动安装在升降座上，所述检测杆的一端用于与料盒中的硅片接触，所述检测杆的另一端用于检测杆一端与硅片接触后触发所述进料传感器；

检测复位装置，所述检测复位装置安装在检测杆与升降座之间，所述检测复位装置用于检测杆保持不触发所述进料传感器的状态。

2.根据权利要求1所述的硅片送料启动检测装置，其特征在于，所述检测升降装置包括检测气缸，所述检测气缸固定在料盒的上方，所述升降座固定在检测气缸的活塞杆上。

3.根据权利要求2所述的硅片送料启动检测装置，其特征在于，所述进料传感器为接近开关或微动开关。

4.根据权利要求1所述的硅片送料启动检测装置，其特征在于，所述检测复位装置包括弹簧，所述弹簧的一端固定在升降座上，另一端固定在检测杆上。

5.根据权利要求4所述的硅片送料启动检测装置，其特征在于，还包括转动座，所述转动座固定在升降座上，所述转动座上设有转动槽，所述检测杆转动安装在转动槽内，所述弹簧的一端安装在转动槽内，另一端压在检测杆上。

6.根据权利要求5所述的硅片送料启动检测装置，其特征在于，所述检测杆的另一端设有感应杆，所述感应杆与检测杆垂直，所述感应杆的末端位于进料传感器的下方，所述弹簧的另一端压在感应杆上；

所述转动座的一侧装有限位板，所述限位板位于转动槽的一侧。

7.根据权利要求1所述的硅片送料启动检测装置，其特征在于，还包括检测滚轮，所述检测滚轮安装在检测杆的一端。

8.硅片送料装置，包括料盒、送料架、送料导轨、水刀、送料杆和送料驱动装置，其特征在于，还包括权利要求1所述的硅片送料启动装置。

9.根据权利要求8所述的硅片送料装置，其特征在于，还包括送料吹片装置，所述送料吹片装置包括

送料吹片座，所述送料吹片座上对称设有两个喷水孔和一个进水孔，所述送料吹片座固定在送料杆上，所述料盒上对称设有两个吹料槽，所述喷水孔与吹料槽相对设置；

吹片电磁阀，所述吹片电磁阀与送料吹片座的进水孔连接；

送料水泵，所述送料水泵与吹片电磁阀连接。