[实用新型]一种对主芯片起保护作用的划片道结构有效

专利信息
申请号: 202020683008.3 申请日: 2020-04-29
公开(公告)号: CN212303633U 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 孙效中;汤为;李江华 申请(专利权)人: 常州旺童半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/306;H01L21/78
代理公司: 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 34158 代理人: 宋萍
地址: 213000 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 保护 作用 划片 结构
【说明书】:

实用新型公开了一种对主芯片起保护作用的划片道结构,包括衬底,所述衬底的顶部靠近两侧处均开设有安装槽,所述安装槽以衬底的中心轴线为对称轴呈左右对称设置,所述安装槽的内腔设有主芯片,所述安装槽的内腔前后两侧均开设有凹槽,所述主芯片的顶部设有两个活动板,所述活动板远离主芯片的一侧延伸至凹槽的内腔,所述活动板上贯穿设有转轴,所述活动板通过转轴活动连接在凹槽的内腔,本实用新型一种对主芯片起保护作用的划片道结构,通过对活动板的旋转设置,方便后期操作时同时对两个主芯片进行压制固定,避免芯片很容易因为外界因素而脱离安装位置,进而避免了不必要的不便。

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域,具体为一种对主芯片起保护作用的划片道结构。

背景技术

在芯片的加工过程中,为了后续的划片操作,在晶圆的生产过程中会加入划片道的结构,由于划片道和衬底都为硅材料,划片过程中和划片后,划片产生的崩边和芯片器件之间没有阻隔,崩边处产生的电荷容易向芯片的器件区域移动,损坏芯片中的器件。由于没有阻隔,产生了缺陷以后,漏电容易从缺陷区域流动至芯片的器件区域,破坏芯片中的器件。另外芯片安装在衬底上的在安装时,只是单纯的将其放置在衬底上,之后再通过支架进行压制式固定,在通过支架进行压制固定前,芯片很容易因为外界因素而脱离安装位置,进而给安装操作带来一定不便。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的缺陷,提供一种对主芯片起保护作用的划片道结构。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种对主芯片起保护作用的划片道结构,包括衬底,所述衬底的顶部靠近两侧处均开设有安装槽,所述安装槽以衬底的中心轴线为对称轴呈左右对称设置,所述安装槽的内腔设有主芯片,所述安装槽的内腔前后两侧均开设有凹槽,所述主芯片的顶部设有两个活动板,所述活动板远离主芯片的一侧延伸至凹槽的内腔,所述活动板上贯穿设有转轴,所述活动板通过转轴活动连接在凹槽的内腔,所述活动板的顶部固定连接有操作杆,且所述操作杆靠近主芯片的中心处,所述凹槽的顶部开设有与操作杆相互匹配的开槽,所述活动板的一侧固定连接有簧片,所述簧片位于凹槽的内腔,所述簧片远离活动板的一端固定连接在凹槽的内腔。

优选的,所述衬底的顶部开设有划片道,且所述划片道位于两个安装槽之间,所述划片道的内腔底部开设有若干个沟槽。

优选的,所述转轴与凹槽内腔侧壁之间的水平距离大于活动板的长度。

优选的,所述活动板的厚度小于凹槽的深度。

优选的,两个相邻的所述活动板以主芯片的中心轴线为对称轴呈前后对称设置。

优选的,所述活动板的底部设有抛光面。

优选的,所述簧片的弧形开口朝向远离主芯片的一侧。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型一种对主芯片起保护作用的划片道结构,通过对活动板的旋转设置,方便后期操作时同时对两个主芯片进行压制固定,避免芯片很容易因为外界因素而脱离安装位置,进而避免了不必要的不便;

2、本实用新型一种对主芯片起保护作用的划片道结构,使用了沟槽进行外围保护,保护主芯片的器件区域以免由划片过程中崩边而受到损伤,提高封装良率,节省成本;使用沟槽可以和主芯片工艺同时形成,不增加工艺难度,不增加成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型俯视图;

图3为本实用新型正视剖视图。

图中标号:1、衬底;2、安装槽;3、主芯片;4、凹槽;5、活动板;6、操作杆;7、转轴;8、簧片;9、划片道;10、沟槽。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州旺童半导体科技有限公司,未经常州旺童半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020683008.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top