[实用新型]一种卷料冷却装置及原子层沉积设备

说明书

本实用新型提供了一种卷料冷却装置及原子层沉积设备，其中卷料冷却装置包括支架、限位辊和冷水辊。本实用新型技术方案通过在支架上设置限位辊，两限位辊平行设置，同时在支架上设置冷水辊，冷水辊的轴线与限位辊的轴线平行，且冷水辊位于两限位辊之间，冷水辊的轴线与两限位辊的轴线之间的连线的角度小于70度，当卷料依次经过限位辊、冷水辊和另一限位辊后，卷料贴附在冷水辊的表面，并由于两限位辊的限位作用，使得卷料与冷水辊之间的接触面积达到最大。通过冷水辊内的水流，能够快速降低卷料的温度。

技术领域

本实用新型涉及冷却设备技术领域，特别涉及一种卷料冷却装置及原子层沉积设备。

背景技术

目前卷料的冷却过程是将若干卷料放置于冷却架进行风冷，由于整卷冷却，卷料卷径过大，往往卷料外层很快冷却至目标温度，导致冷却时间过长，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种卷料冷却装置及原子层沉积设备，旨在解决传统卷料冷却装置冷却时间过长，影响生产效率的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种卷料冷却装置，所述卷料冷却装置包括：

支架；

两限位辊，两所述限位辊均转动设置于所述支架上，两所述限位辊平行设置；

冷水辊，所述冷水辊转动设置于所述支架上，且位于两所述限位辊之间，所述冷水辊的轴线与两所述限位辊的轴线之间的连线的角度小于70度；

其中，卷料依次经过所述限位辊、所述冷水辊和另一所述限位辊，所述卷料贴附于所述冷水辊的表面，所述冷水辊用于给所述卷料降温。

优选的，所述卷料冷却装置还包括：

两组支座，所述支座滑动连接于所述支架上，两所述限位辊分别转动设置于两组所述支座上；

其中，两组所述支架沿所述卷料的传输方向往复滑动，以使两组所述支架相互靠近或者远离。

优选地，所述卷料冷却装置还包括：

两组支座，所述支座升降设置于所述支架上，两所述限位辊分别转动设置于两组所述支座上。

优选地，所述冷水辊的直径大于所述限位辊的直径。

优选地，两所述限位辊的轴线之间的距离小于200mm。

优选地，所述卷料冷却装置还包括：

两调节辊，两所述调节辊平行设置于所述支架上，所述调节辊的轴线与所述冷水辊的轴线相平行，两所述限位辊位于两所述调节辊之间。

优选地，两所述调节辊升降设置于所述支架上。

优选地，所述冷水辊包括：

外筒，所述外筒的一端与所述支架转动设置；

内筒，所述内筒的轴心位置设置有第一流道，所述内筒套设于所述外筒内，所述外筒的周壁与所述内筒的周壁之间形成第二流道，所述第二流道呈螺旋设置，所述第一流道与所述第二流道连通，所述内筒远离所述外筒的一端与所述支架转动设置；

其中，冷却液体从所述第一流道流入，从所述第二流道流出。

优选地，所述内筒的内部还设置有衔接流道，所述第一流道和所述第二流道通过所述衔接流道连通。

本实用新型还提出一种原子层沉积设备，包括上述任一项所述卷料冷却装置，所述原子层沉积设备还包括：

机座，所述机座上设置有所述支架，所述卷料分别经过两所述限位辊，并贴附于所述冷水辊的表面，所述冷水辊用于给所述卷料降温。