[实用新型]一种卷料冷却装置及原子层沉积设备

权利要求书

1.一种卷料冷却装置，其特征在于，所述卷料冷却装置包括：

支架；

两限位辊，两所述限位辊均转动设置于所述支架上，两所述限位辊平行设置；

冷水辊，所述冷水辊转动设置于所述支架上，且位于两所述限位辊之间，所述冷水辊的轴线与两所述限位辊的轴线之间的连线的角度小于70度；

其中，卷料依次经过所述限位辊、所述冷水辊和另一所述限位辊，所述卷料贴附于所述冷水辊的表面，所述冷水辊用于给所述卷料降温。

2.如权利要求1所述卷料冷却装置，其特征在于，所述卷料冷却装置还包括：

两组支座，所述支座滑动连接于所述支架上，两所述限位辊分别转动设置于两组所述支座上；

其中，两组所述支架沿所述卷料的传输方向往复滑动，以使两组所述支架相互靠近或者远离。

3.如权利要求1所述卷料冷却装置，其特征在于，所述卷料冷却装置还包括：

两组支座，所述支座升降设置于所述支架上，两所述限位辊分别转动设置于两组所述支座上。

4.如权利要求1所述卷料冷却装置，其特征在于，所述冷水辊的直径大于所述限位辊的直径。

5.如权利要求1所述卷料冷却装置，其特征在于，两所述限位辊的轴线之间的距离小于200mm。

6.如权利要求1所述卷料冷却装置，其特征在于，所述卷料冷却装置还包括：

两调节辊，两所述调节辊平行设置于所述支架上，所述调节辊的轴线与所述冷水辊的轴线相平行，两所述限位辊位于两所述调节辊之间。

7.如权利要求6所述卷料冷却装置，其特征在于，两所述调节辊升降设置于所述支架上。

8.如权利要求1所述卷料冷却装置，其特征在于，所述冷水辊包括：

外筒，所述外筒的一端与所述支架转动设置；

内筒，所述内筒的轴心位置设置有第一流道，所述内筒套设于所述外筒内，所述外筒的周壁与所述内筒的周壁之间形成第二流道，所述第二流道呈螺旋设置，所述第一流道与所述第二流道连通，所述内筒远离所述外筒的一端与所述支架转动设置；

其中，冷却液体从所述第一流道流入，从所述第二流道流出。

9.如权利要求8所述的卷料冷却装置，其特征在于，所述内筒的内部还设置有衔接流道，所述第一流道和所述第二流道通过所述衔接流道连通。

10.一种原子层沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述卷料冷却装置，所述原子层沉积设备还包括：

机座，所述机座上设置有所述支架，所述卷料分别经过两所述限位辊，并贴附于所述冷水辊的表面，所述冷水辊用于给所述卷料降温。