[实用新型]衍射光学元件的检测系统

说明书

本申请提供一种衍射光学元件的检测系统，包括：光源、分束部、固定部和检测部，光源用于向分束部发射线偏振光；分束部用于将接收的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光；固定部用于固定待测衍射光学元件；检测部用于接收衍射光束，以对待测衍射光学元件进行检测，其中，衍射光束为待测衍射光学元件对两束线偏振光进行衍射形成的光束。这样就无需为实现在两个方向上对DOE的检测的过程中旋转或移动DOE，一方面可以提高对DOE的检测效率，另一方面，无需将DOE放置两次，可以尽可能减小对DOE造成损害的可能性，从而提升衍射光学元件的检测系统在DOE的检测过程中的安全性。

技术领域

本申请涉及3D成像技术领域，具体而言，涉及一种衍射光学元件的检测系统。

背景技术

衍射光学元件(Diffractive Optical Element，简称DOE)是一种发展迅猛的新型光学元件，被广泛应用于3D(3-Dimension，三维)深度相机的激光投射模组中，DOE的性能直接影响投影图案质量，进一步影响深度相机的深度成像效果。

DOE的衍射行为可以分为准静态区衍射(光栅常数dλ/2)、共振区衍射 (λ/2d10λ)、标量衍射区(d10λ)，三种衍射的不同主要产生于光波与 DOE相互作用的不同，相应地DOE衍射特性的研究理论也分为标量衍射理论和矢量衍射理论两大类。一般的DOE光栅结构周期d与设计光波长λ在同一数量级(λd10λ)，两者处于共振区内，而DOE复杂的光栅结构具有各向异性的特点，这种光栅结构会产生与光偏振方向相关的传输损耗现象。

在现有的在DOE的检测系统中所采用的光源都为线偏振光，在DOE的性能测试时，通常需要测试两次，即把DOE分别在0度和旋转90度两个方向上进行检测，此种检测方法不仅检测效率低，而且在测试过程中，极其容易损坏产品。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种衍射光学元件的检测系统，以高效安全地对衍射光学元件进行检测。

为了实现上述目的，本申请的实施例通过如下方式实现：

第一方面，本申请实施例提供一种衍射光学元件的检测系统，包括：光源、分束部、固定部和检测部，所述光源，用于向所述分束部发射线偏振光；所述分束部，用于将接收的所述线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光；所述固定部，用于固定待测衍射光学元件；所述检测部，用于接收衍射光束，以对所述待测衍射光学元件进行检测，其中，所述衍射光束为所述待测衍射光学元件对所述两束线偏振光进行衍射形成的光束。

在本申请实施例中，衍射光学元件的检测系统中包括分束部，可以将接收的光源发射的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光，这样可以在衍射光学元件的检测系统进行DOE的性能测试时，根据待测衍射光学元件(即DOE)对两束线偏振光进行衍射形成的衍射光束，对DOE 进行检测。这样就无需为实现在两个方向上对DOE的检测的过程中旋转或移动DOE，另一方面，无需将DOE放置两次，可以尽可能减小对DOE造成损害的可能性，从而提升衍射光学元件的检测系统在DOE的检测过程中的安全性。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述预设角度为90°。

在该实现方式中，由于DOE的光栅结构具有各向异性的特点，意味着 DOE的这种光栅结构会产生与光偏振方向相关的传输损耗。即DOE性能与入射光偏振方向和DOE光栅刻槽方向之间的夹角α密切相关，一般地，当入射光的偏振方向与光栅刻槽方向平行即夹角α＝0度时，DOE性能具有最好，转换效率最高，当入射光的偏振方向与光栅刻槽方向垂直即夹角α＝90 度，DOE性能最差，转换效率最低。因此，将对DOE性能检测的预设角度设置为90°，则分束部可以将接收的线偏振光分束为振幅相等且成90°的两束线偏振光，这样可以尽可能保证检测的准确性和检测的有效性。

结合第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述分束部为1/4波片。