[实用新型]衍射光学元件的检测系统有效
| 申请号： | 202020657650.4 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN211696895U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈展耀;郑祺;戴书麟;刘风雷 | 申请（专利权）人： | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐正瑜 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 检测 系统 | ||
1.一种衍射光学元件的检测系统，其特征在于，包括：光源、分束部、固定部和检测部，
所述光源，用于向所述分束部发射线偏振光；
所述分束部，用于将接收的所述线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光；
所述固定部，用于固定待测衍射光学元件；
所述检测部，用于接收衍射光束，以对所述待测衍射光学元件进行检测，其中，所述衍射光束为所述待测衍射光学元件对所述两束线偏振光进行衍射形成的光束。
2.根据权利要求1所述的衍射光学元件的检测系统，其特征在于，所述预设角度为90°。
3.根据权利要求2所述的衍射光学元件的检测系统，其特征在于，所述分束部为1/4波片。
4.根据权利要求2所述的衍射光学元件的检测系统，其特征在于，所述分束部为偏振方向旋转器。
5.根据权利要求1所述的衍射光学元件的检测系统，其特征在于，所述检测部包括投射屏和接收装置，
所述投射屏，用于接收所述衍射光束并成像；
所述接收装置，用于获取所述投射屏上的衍射图像，并对所述衍射图像进行处理，以确定出所述待测衍射光学元件的检测结果。
6.根据权利要求1所述的衍射光学元件的检测系统，其特征在于，所述光源为准直的单点激光器。
7.根据权利要求1所述的衍射光学元件的检测系统，其特征在于，所述衍射光学元件的检测系统还包括控制部，
所述控制部分别与所述光源和所述检测部连接，用于控制所述光源发射线偏振光，以及，用于控制所述检测部采集所述衍射光束以对所述待测衍射光学元件进行检测。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的衍射光学元件的检测系统，其特征在于，所述光源、所述分束部、所述固定部和所述检测部位于同一轴线上。
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