[实用新型]掩膜板组件

说明书

本实用新型涉及一种掩膜板组件，包括第一掩膜板，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条，所述第一掩膜板包括第一框架、以及设置于所述第一框架相对的一组侧边框之间的第一支撑条，所述第一支撑条的第一区域上设置有包括多个第一通孔的第一镂空部，多个所述第一通孔用于与多种所述第一掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第一功能结构。

技术领域

本实用新型涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种掩膜板组件。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode)屏幕具有亮度高、画质好、节能等优点，已经成为面板行业的发展趋势，更是面板行业的高端产品，在其价格高的同时，客户对OLED屏幕的要求也越来越高。目前OLED行业均为采用mask(掩膜板)的方法蒸镀发光材料。

目前的EV mask中AA区的遮挡多采用F-mask(高精度金属掩膜板)的方式进行遮挡，由于不同的EL(发光层)膜层在不同的腔室中进行蒸镀，每个腔室中有许多需要测试的内容，如蒸镀PPA(位置精度)、膜厚、光学性能、电学性能等，故F-mask上设计有许多孔，不同的膜层对应的F-mask上的开孔位置也不同，故REML(红色发光层)、GEML(绿色发光层)、BEML(蓝色发光层)、RHTL(红色辅助发光层)、GHTL(绿色辅助发光层)分别对应5种不同的F-masksheet(掩膜板组件)，在mask的制作中需要进行5次开模，不仅成本较高，同时mask制作时间较长；且在mask的制作过程中，可能会出现一张或者几张mask制作错误、损坏等情况，如果损坏的几张F-mask均为一个腔室对应的F-mask，则会导致该腔室对应的FMM无法张网，EL器件无法按日程进行蒸镀，损坏的F-mask的修复或者重新制作均需要更长的时间，会导致项目日程delay，更严重的会导致首样日程delay。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种掩膜板组件，解决蒸镀EL器件成本高，以及部分掩膜板损坏则整个蒸镀流程延迟的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种掩膜板组件，包括第一掩膜板，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条，所述第一掩膜板包括第一框架、以及设置于所述第一框架的相对的一组侧边框之间的第一支撑条，所述第一支撑条的第一区域上设置有包括多个第一通孔的第一镂空部，多个所述第一通孔用于与多种所述第一掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第一功能结构；

所述第一镂空部包括三个所述第一通孔，三个所述第一通孔包括第一子通孔、第二子通孔、第三子通孔，其中所述第一子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第二子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第三子通孔用于蒸镀形成测试显示基板的第三颜色发光层的第一特性的第一功能结构。

可选的，还包括三种所述第一掩膜条，每个所述第一掩膜条的有效蒸镀图案在所述第一掩膜板上的正投影位于对应的所述第一通孔内。

可选的，还包括第二掩膜板，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第二掩膜条，所述第二掩膜板包括第二框架，以及设置于所述第二框架的相对一组侧边框之间的第二支撑条，所述第二支撑条的第二区域上设置有包括多个第二通孔的第二镂空部，多个所述第二通孔用于与多种所述第二掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第二功能结构。

可选的，所述第二镂空部包括两个所述第二通孔，两个所述第二通孔包括第四子通孔和第五子通孔，其中所述第四子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构，所述第五子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构。

可选的，还包括两种所述第二掩膜条，每个所述第二掩膜条的有效蒸镀图案在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的所述第二通孔内。