[实用新型]掩膜板组件有效
申请号: | 202020656789.7 | 申请日: | 2020-04-26 |
公开(公告)号: | CN212025440U | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 何潘婷;肖磊芳 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;张博 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 组件 | ||
1.一种掩膜板组件,其特征在于,包括第一掩膜板,以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条,所述第一掩膜板包括第一框架、以及设置于所述第一框架的相对的一组侧边框之间的第一支撑条,所述第一支撑条的第一区域上设置有包括多个第一通孔的第一镂空部,多个所述第一通孔用于与多种所述第一掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第一功能结构;
所述第一镂空部包括三个所述第一通孔,三个所述第一通孔包括第一子通孔、第二子通孔、第三子通孔,其中所述第一子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构,所述第二子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构,所述第三子通孔用于蒸镀形成测试显示基板的第三颜色发光层的第一特性的第一功能结构。
2.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,还包括三种所述第一掩膜条,每个所述第一掩膜条的有效蒸镀图案在所述第一掩膜板上的正投影位于对应的所述第一通孔内。
3.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,还包括第二掩膜板,以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第二掩膜条,所述第二掩膜板包括第二框架,以及设置于所述第二框架的相对的一组侧边框之间的第二支撑条,所述第二支撑条的第二区域上设置有包括多个第二通孔的第二镂空部,多个所述第二通孔用于与多种所述第二掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第二功能结构。
4.根据权利要求3所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第二镂空部包括两个所述第二通孔,两个所述第二通孔包括第四子通孔和第五子通孔,其中所述第四子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构,所述第五子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构。
5.根据权利要求4所述的掩膜板组件,其特征在于,还包括两种所述第二掩膜条,每个所述第二掩膜条的有效蒸镀图案在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的所述第二通孔内。
6.根据权利要求5所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第二掩膜条包括第一子掩膜条和第二子掩膜条,所述第一子掩膜条用于形成测试第一颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构,所述第二子掩膜条用于形成测试第二颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构,所述第一掩膜条包括第三子掩膜条和第四子掩膜条,所述第三子掩膜条用于形成测试第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构,所述第四子掩膜条用于形成测试第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构;
所述第一子掩膜条复用为所述第三子掩膜条,所述第二子掩膜条复用为所述第四子掩膜条。
7.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,还包括具有不同有效蒸镀图案的第三掩膜条,所述第一掩膜板上的所述第一支撑条上的第三区域设置有具有多个第三通孔的第三镂空部,多个所述第三通孔与多种所述第三掩膜条配合以蒸镀形成不同的第三功能结构。
8.根据权利要求7所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第三镂空部至少包括三个所述第三通孔,分别用于与所述第一掩膜板相配合、以蒸镀形成分别对第一颜色发光层、第二颜色发光层、第三颜色发光层的第二特性进行测试的第三功能结构。
9.根据权利要求3所述的掩膜板组件,其特征在于,还包括具有不同有效蒸镀图案的第四掩膜条,所述第二掩膜板上的所述第二支撑条上的第四区域设置有具有多个第四通孔的第四镂空部,多个所述第四通孔与多种所述第四掩膜条配合以蒸镀形成不同的第四功能结构。
10.根据权利要求9所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第四镂空部至少包括两个所述第四通孔,分别用于与所述第二掩膜板相配合、以蒸镀形成分别对第一颜色辅助发光层、第二颜色辅助发光层、第三颜色辅助发光层的第二特性进行测试的第四功能结构。
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