[实用新型]一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构

说明书

本实用新型涉及检修维护镀膜线设备的技术领域，尤其涉及一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构。包括维修架底架，所述维修架底架上设有翻转架框架，所述翻转架框架上设有定位并固定带有圆柱靶的靶门的定位结构，所述翻转架框架两端设有用于转动翻转架框架并带动靶门一起翻转的翻转组件，把一体式的圆柱靶与靶门定位固定在翻转架框架上，对靶门其中一面检修后，再通过人工转动手轮使翻转架翻转进而实现放置于翻转架上靶门的翻转，不仅可以处理靶电机和流量计，也可以翻转后处理靶材维护、检查、排水、阴极等问题，大大降低工作难度和工作强度，提高工作效率以及工作质量。

【技术领域】

本实用新型涉及检修维护镀膜线设备的技术领域，尤其涉及一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构。

【背景技术】

卧式真空镀膜线圆柱靶门一般都集成了：靶结构连同旋转阴极、 MFC、靶电机、冷却水分水器、靶电机控制和信号线，流量计控制信号线、光电信号线。

镀膜线包括立式包括倾斜连续镀膜线和卧式镀膜线，但是卧式镀膜线的靶材更换以及维护检查工作相对复杂，而且随着工件尺寸越来越大，这也直接导致镀膜腔体，镀膜阴极等尺寸都随着增加。其一般采用液压翻转的方式，需要很大的操作区域，并且严重干扰其他设备设计和摆放的位置。在线检修的工作强度及工作难度较大，影响工作效率，降低工作质量，且容易磕碰损坏靶门。

【实用新型内容】

本实用新型所要解决的是卧式镀膜线的大尺寸靶材更换以及维护检查工作操作区域不足且在线检修的工作强度和工作难度较大的技术问题。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：

一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，包括维修架底架，所述维修架底架上设有翻转架框架，所述翻转架框架上设有定位并固定带有圆柱靶的靶门的定位结构，所述翻转架框架两端设有用于转动翻转架框架并带动靶门一起翻转的翻转组件。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述翻转组件包括对称设于翻转架框架两端带动翻转架框架翻转的第一轮轴和第二轮轴，所述第一轮轴和第二轮轴上分别设有转动第一轮轴和第二轮轴的第一手轮和第二手轮，所述第一轮轴与第二轮轴上分别套设有第一轴承和第二轴承。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述维修架底架上设有对称的第一安装横梁和第二安装横梁，所述第一轴承与第二轴承分别利用第一轴承安装件和第二轴承安装件使翻转组件可转动的安装在维修架底架的第一安装横梁和第二安装横梁上，所述第一安装横梁和第二安装横梁上分别设有第一限位件和第二限位件，所述翻转架框架两端还设有分别与第一限位件与第二限位件对应的用于固定翻转架框架使翻转架框架保持水平的第一限位销与第二限位销。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述定位结构包括设于所述翻转架框架上两对角处用于方便靶门精确放置在翻转架框架上的第一导向销和第二导向销，所述定位结构还包括设于翻转架框架上与靶门螺丝孔位置相对应的翻转架框架螺丝孔。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述翻转架框架上设有若干用于保护靶门密封面的橡胶垫板。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述维修架底架下方设有底部框架，所述底部框架包括维修架安装部以及设于维修架安装部两侧的脚踏板安装部，所述脚踏板安装部上安装有脚踏板。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述维修架底架前方设有便于检修员进行检修操作的延长行走框架组件，所述延长行走框架组件包括两大小一样的架台，两所述架台分别与设于维修架安装部两则的脚踏板安装部连接，且两所述架台高度与脚踏板高度一致，两所述架台之间设有架台横梁，所述架台横梁距离地面的高度小于所述架台的高度，所述架台横梁上设有横向踏板。