[实用新型]一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构有效
| 申请号: | 202020618009.X | 申请日: | 2020-04-22 |
| 公开(公告)号: | CN213086092U | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
| 发明(设计)人: | 李培东;徐从高 | 申请(专利权)人: | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/56 |
| 代理公司: | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人: | 石仁 |
| 地址: | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 适用于 卧式 镀膜 离线 圆柱 检修 更换 机构 | ||
1.一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:包括维修架底架(2),所述维修架底架(2)上设有翻转架框架(5),所述翻转架框架(5)上设有定位并固定带有圆柱靶(34)的靶门(32)的定位结构(31),所述翻转架框架(5)两端设有用于转动翻转架框架(5)并带动靶门(32)一起翻转的翻转组件(3)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述翻转组件(3)包括对称设于翻转架框架(5)两端带动翻转架框架(5)翻转的第一轮轴(6)和第二轮轴(7),所述第一轮轴(6)和第二轮轴(7)上分别设有转动第一轮轴(6)和第二轮轴(7)的第一手轮(8)和第二手轮(9),所述第一轮轴(6)与第二轮轴(7)上分别套设有第一轴承(12)和第二轴承(13)。
3.根据权利要求2所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述维修架底架(2)上设有对称的第一安装横梁(16)和第二安装横梁(17),所述第一轴承(12)与第二轴承(13)分别利用第一轴承安装件(14)和第二轴承安装件(15)使翻转组件(3)可转动的安装在维修架底架(2)的第一安装横梁(16)和第二安装横梁(17)上,所述第一安装横梁(16)和第二安装横梁(17)上分别设有第一限位件(18)和第二限位件(19),所述翻转架框架(5)两端还设有分别与第一限位件(18)与第二限位件(19)对应的用于固定翻转架框架(5)使翻转架框架(5)保持水平的第一限位销(20)与第二限位销(21)。
4.根据权利要求3所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述定位结构(31)包括设于所述翻转架框架(5)上两对角处用于方便靶门精确放置在翻转架框架(5)上的第一导向销(22)和第二导向销(23),所述定位结构(31)还包括设于翻转架框架(5)上与靶门螺丝孔(33)位置相对应的翻转架框架螺丝孔(11)。
5.根据权利要求4所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述翻转架框架(5)上设有若干用于保护靶门密封面的橡胶垫板(10)。
6.根据权利要求5所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述维修架底架(2)下方设有底部框架(1),所述底部框架(1)包括维修架安装部(24)以及设于维修架安装部(24)两侧的脚踏板安装部(25),所述脚踏板安装部(25)上安装有脚踏板(26)。
7.根据权利要求6所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述维修架底架(2)前方设有便于检修员进行检修操作的延长行走框架组件(4),所述延长行走框架组件(4)包括两大小一样的架台(27),两所述架台(27)分别与设于维修架安装部(24)两侧的脚踏板安装部(25)连接,且两所述架台(27)高度与脚踏板(26)高度一致,两所述架台(27)之间设有架台横梁(29),所述架台横梁(29)距离地面的高度小于所述架台(27) 的高度,所述架台横梁(29)上设有横向踏板(28)。
8.根据权利要求7所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述脚踏板(26)与横向踏板(28)均设有花纹。
9.根据权利要求8所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述底部框架(1)、维修架底架(2)、延长行走框架组件(4)以及翻转架框架(5)均由型材方通焊接组成。
10.根据权利要求9所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构,其特征在于:所述翻转架框架(5)两垂直型材方通间设有加强筋(30)。
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