[实用新型]一种太阳能硅片自动上料装置有效
申请号: | 202020578064.0 | 申请日: | 2020-04-17 |
公开(公告)号: | CN211404477U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 张银鹏;刘向荣;周易芳;彭云祥;李振华 | 申请(专利权)人: | 宇泽(江西)半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677;H01L31/18 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 自动 装置 | ||
本实用新型公开了一种太阳能硅片自动上料装置,包括真空吸盘,所述真空吸盘右端固定连接有移动杆,所述移动杆内部中心通过打孔有真空腔,所述真空吸盘右侧一体成型有真空嘴,且真空嘴连通真空腔。本实用新型通过真空腔和真空嘴的设置,通过电动滑轨带动移动杆移动,使得真空吸盘贴合硅片,并通过外部真空泵连通真空接头,将真空腔内空气抽出形成负压,使得硅片吸附于真空吸盘上,便于硅片的稳定上料,较为实用,适合广泛推广与使用。
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片技术领域,具体为一种太阳能硅片自动上料装置。
背景技术
太阳能硅片具有高效率,低衰减,可靠性强和先进的扩散技术,保证了片间片内的良好均匀性,降低了电池片之间的匹配损失。
现有专利(公告号为CN201220278409.6)及太阳能硅片自动上料装置,此专利通过过吹气嘴吹氮气将粘着的其他硅片吹落下来,保证吸气嘴一片一片的吸住输送,准确控制上料,但是其吸气嘴吸附硅片时由于硅片表面还需要印刷工艺,因此容易出现吸附不够牢靠的问题,造成硅片滑落出现损坏或者划痕。
因此,我们提出一种太阳能硅片自动上料装置,通过真空吸盘吸附硅片的同时,配合冷风管和热风管使得空气产生热胀冷缩的效果,便于硅片吸附更为牢固或者取下更为便捷。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种太阳能硅片自动上料装置,解决了背景技术中所提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种太阳能硅片自动上料装置,包括真空吸盘,所述真空吸盘右端固定连接有移动杆,所述移动杆内部中心通过打孔有真空腔,所述真空吸盘右侧一体成型有真空嘴,且真空嘴连通真空腔。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述移动杆右端固定连接有电动滑轨。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述移动杆右侧顶部焊接有固定管,所述固定管内连通真空腔,且卡合有真空接头。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述移动杆外壁左侧卡合有左限位块中部,所述左限位块顶部嵌套有热风管,所述左限位块底部嵌套有冷风管。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述移动杆外壁右侧卡合有右限位块中部,所述右限位块顶部嵌套有热风管,所述右限位块底部嵌套有冷风管。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1.本实用新型的太阳能硅片自动上料装置,通过真空腔和真空嘴的设置,通过电动滑轨带动移动杆移动,使得真空吸盘贴合硅片,并通过外部真空泵连通真空接头,将真空腔内空气抽出形成负压,使得硅片吸附于真空吸盘上,便于硅片的稳定上料。
2.本实用新型的太阳能硅片自动上料装置,通过冷风管和热风管的设置,通过将冷风管和热风管分别连通外部风泵和电热风炉,当需要硅片吸附时,冷风管排出冷气使得真空吸盘内空气产生冷缩效果,吸附更为牢固,当硅片取下时,关闭真空泵同时热风管排出热气流,真空吸盘内空气产生热涨效果,从而硅片便于取下,便于硅片吸附更为牢固或者取下更为便捷。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型太阳能硅片自动上料装置的整体结构示意图;
图2为本实用新型太阳能硅片自动上料装置的结构剖面图。
图中:真空吸盘1;左限位块2;热风管3;固定管4;真空接头5;移动杆6;电动滑轨7;冷风管8;真空腔9;真空嘴10;右限位块11。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造