[实用新型]一种微型芯片高精度测试结构

权利要求书

1.一种微型芯片高精度测试结构，其特征在于：包括XYZ自动滑台（1），所述XYZ自动滑台（1）上设置有针卡安装组件（2），所述针卡安装组件（2）上设置有针卡（3），所述XYZ自动滑台（1）的一侧设置有工业相机（4），所述工业相机（4）位于所述针卡（3）的上方，所述针卡（3）包括设置在所述针卡安装组件（2）上的PCB板（31），所述PCB板（31）上设有若干根探针（32）。

2.根据权利要求1所述的一种微型芯片高精度测试结构，其特征在于：所述XYZ自动滑台（1）的一侧设置有XY手动滑台（5），所述XY手动滑台（5）上设置有安装板（6），所述工业相机（4）设置在所述安装板（6）上。

3.根据权利要求2所述的一种微型芯片高精度测试结构，其特征在于：所述安装板（6）上还设置有光源（7），所述光源（7）位于所述工业相机（4）的下方并与所述工业相机（4）相配合。

4.根据权利要求1所述的一种微型芯片高精度测试结构，其特征在于：所述PCB板（31）上设有安装槽（33），所述安装槽（33）内设置有固定树脂块（34），所述固定树脂块（34）的中部设有方孔（35），所述方孔（35）与所述工业相机（4）相配合，所述探针（32）的针根端连接在所述PCB板（31）的下端，所述探针（32）的针尖端固定在所述固定树脂块（34）的下端，所述探针（32）的针尖位于所述方孔（35）的下方。

5.根据权利要求2所述的一种微型芯片高精度测试结构，其特征在于：所述安装板（6）上设有滑槽（8），所述滑槽（8）上滑动配合有滑动块（9），所述工业相机（4）设置在所述滑动块（9）上，所述滑槽（8）的一侧设有让位槽（10），所述滑动块（9）的后端设置有连接件（11），所述连接件（11）穿过所述让位槽（10）并与设置在所述安装板（6）后端面上的Z轴调整件（12）相配合。

6.根据权利要求1所述的一种微型芯片高精度测试结构，其特征在于：它还包括底板（13），所述XYZ自动滑台（1）通过底座（14）设置在所述底板（13）上，所述XY手动滑台（5）通过支架（15）设置在所述底板（13）上，所述针卡安装组件（2）包括设置在所述XYZ自动滑台（1）上的连接板（16），所述连接板（16）的下端设置有针卡安装板（17），所述针卡安装板（17）与所述底板（13）相平行，所述针卡（3）设置在所述针卡安装板（17）上。