[实用新型]一种半导体晶圆自动翻转设备有效
| 申请号： | 202020553204.9 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN212150790U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 唐超;林坚 | 申请（专利权）人： | 泓浒（昆山）半导体光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 林波 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 自动 翻转 设备 | ||
1.一种半导体晶圆自动翻转设备，包括感应器(1)、支撑架(2)和底座(3)和夹块(4)，其特征在于：所述底座(3)的顶端固定连接有支撑架(2)，所述支撑架(2)的一端设置有旋转机构(6)，所述支撑架(2)的一端固定连接有固定架(7)，所述固定架(7)的内部设置有调节机构(5)，所述调节机构(5)的两侧均设置有夹块(4)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆自动翻转设备，其特征在于：所述夹块(4)的一侧均固定连接有防护垫(8)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆自动翻转设备，其特征在于：所述调节机构(5)的内部依次设置有固定板(501)、固定座(502)、气缸(503)和伸缩杆(504)，所述固定板(501)固定连接于固定架(7)一端的两侧，所述固定板(501)的一侧均设置有固定座(502)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆自动翻转设备，其特征在于：所述固定座(502)的一侧均设置有气缸(503)，所述气缸(503)的一侧均设置有伸缩杆(504)，且伸缩杆(504)的一侧贯穿于固定架(7)的一侧与夹块(4)固定连接，所述气缸(503)关于固定架(7)的垂直中心线呈对称分布。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆自动翻转设备，其特征在于：所述旋转机构(6)的内部依次设置有电机座(601)、翻转电机(602)、转盘(603)、滑块(604)和环形滑槽(605)，所述电机座(601)设置于支撑架(2)的另一端，所述电机座(601)的内部设置有翻转电机(602)，所述翻转电机(602)的一端延伸至支撑架(2)的一端固定连接有转盘(603)，所述转盘(603)的一端与固定架(7)的一端固定连接，所述滑块(604)固定连接于支撑架(2)的一侧。
6.根据权利要求5所述的一种半导体晶圆自动翻转设备，其特征在于：所述环形滑槽(605)设置于固定架(7)的内部的一端，所述环形滑槽(605) 的内径大于滑块(604)的外径，所述环形滑槽(605)与滑块(604)之间构成滑动结构。
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