[实用新型]一种单晶硅棒料转运装置

权利要求书

1.一种单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述转运装置包括回转换向机构、圆棒夹持机构、边料夹持机构和方料夹持机构；

所述回转换向机构包括转向驱动机构和回转座；

所述圆棒夹持机构、边料夹持机构和方料夹持机构分别固定于回转座的不同侧壁上，圆棒夹持机构用于夹持待加工的单晶硅棒，边料夹持机构用于夹持单晶硅棒开方后切割出的边料，方料夹持机构用于夹持单晶硅棒开方后的方棒；

所述转向驱动机构用于驱动回转座转向运动，以带动圆棒夹持机构、边料夹持机构和方料夹持机构位置转换。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述转向驱动机构包括回转驱动电机和回转轴，所述回转轴与回转驱动电机传动连接，所述回转座套设于回转轴上。

3.根据权利要求2所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述圆棒夹持机构包括第一安装座和圆棒夹持组件，所述圆棒夹持组件通过第一安装座固定于回转座的侧壁，圆棒夹持组件包括圆棒夹爪和圆棒夹爪开合驱动机构，所述圆棒夹爪开合驱动机构用于驱动圆棒夹爪夹紧或者松开单硅晶棒。

4.根据权利要求3所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述圆棒夹持机构还包括第一升降机构，所述第一升降机构用于带动圆棒夹持组件抬升或者下降。

5.根据权利要求1所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述边料夹持机构包括第二安装座和边料夹持组件，所述边料夹持组件通过第二安装座固定于回转座的侧壁，边料夹持组件包括边料夹爪和边料夹爪开合驱动机构，所述边料夹爪开合驱动机构用于驱动边料夹爪夹紧或者松开单硅晶棒。

6.根据权利要求5所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述边料夹持机构还包括第二升降机构，所述第二升降机构用于带动边料夹持组件抬升或者下降。

7.根据权利要求1所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述方料夹持机构包括第三安装座和方料夹持组件，所述方料夹持组件通过第三安装座固定于回转座的侧壁，方料夹持组件包括方料夹爪和方料夹爪开合驱动机构，所述方料夹爪开合驱动机构用于驱动方料夹爪夹紧或者松开单硅晶棒。

8.根据权利要求3所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述方料夹持机构还包括第三升降机构，所述第三升降机构用于带动方棒夹持组件抬升或者下降。

9.根据权利要求1所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述转运装置还包括滑动机构，所述回转换向机构设置于滑动机构上，用于带动回转换向机构沿预设路径运动。

10.根据权利要求1所述的单晶硅棒料转运装置，其特征在于，所述转运装置还包括晶线定向机构，所述晶线定向机构设置于滑动机构的一侧，所述晶线定向机构包括底座、回转工作台和检测元件，所述回转工作台和检测元件均设置于底座上，检测单元位于回转工作台的一侧，用于确定单硅晶棒的晶线。