[实用新型]一种芯片加热测试机构有效
| 申请号: | 202020543002.6 | 申请日: | 2020-04-14 |
| 公开(公告)号: | CN211578716U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
| 发明(设计)人: | 荣国青;门蒙;张健星 | 申请(专利权)人: | 苏州辉垦电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677;G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司: | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人: | 吕明霞 |
| 地址: | 215134 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 加热 测试 机构 | ||
1.一种芯片加热测试机构,包括连接单元、测试单元、加热单元及传动结构,其特征在于:所述连接单元包含治具连接板(11),所述治具连接板(11)上设有四个直线排列的第一芯片槽(12),所述治具连接板(11)上设有四个方形排列的垫片槽(13),所述垫片槽(13)对称布置在第一芯片槽(12)的前后两侧;
所述测试单元包含基座(21),所述基座(21)上设有直线排列的四个第二芯片槽(24)和四个第二销钉(23),所述第二芯片槽(24)的前后两侧分别设有第二感应槽(25)、第一感应槽(22);
所述加热单元包含加热盘(31),所述加热盘(31)上开设有第三芯片槽(32),所述加热盘(31)的左右两侧设有把手(33);
所述传动结构包含连接基板(41)、吸嘴固定块(42)、压块(43)、吸嘴(44),所述吸嘴固定块(42)固定在连接基板(41)上,所述压块(43)设置于吸嘴固定块的下方并和连接基板(41)连接,所述吸嘴(44)固定在吸嘴固定块(42)上并和连接基板(41)、压块(43)连接。
2.根据权利要求1所述的一种芯片加热测试机构,其特征在于:所述治具连接板(11)上设有四个第一销钉(15),其布置于第一芯片槽(12)的两侧,相邻两个所述第一销钉(15)间的距离和相邻两个第二销钉(23)间的距离相等,所述垫片槽(13)内连接有支撑垫片(14)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片加热测试机构,其特征在于:所述压块(43)上设有两个定位孔(46),两个所述定位孔(46)间的距离和相邻两个第二销钉(23)间的距离相等。
4.根据权利要求1所述的一种芯片加热测试机构,其特征在于:所述第一芯片槽(12)、第三芯片槽(32)均采用通槽设计,所述第二芯片槽(24)采用盲槽设计,其槽底设有通孔。
5.根据权利要求1所述的一种芯片加热测试机构,其特征在于:所述传动结构设有两个吸嘴(44)及两个吸嘴固定块(42),相邻的两个所述第一芯片槽(12)、两个第二芯片槽(24)、两个第三芯片槽(32)间的距离均和两个吸嘴(44)间的距离相等。
6.根据权利要求1所述的一种芯片加热测试机构,其特征在于:所述第三芯片槽(32)采用多槽位设计,均匀布置在加热盘(31)上。
7.根据权利要求1所述的一种芯片加热测试机构,其特征在于:所述加热盘(31)上的第三芯片槽(32)采用机加工切割设计。
8.根据权利要求1所述的一种芯片加热测试机构,其特征在于:所述第一感应槽(22)和第二感应槽(25)的深度不相等,二者呈一条直线设计,且从第二芯片槽(24)的中心穿过。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





