[实用新型]一种便于与设备连接的一体型旋转靶材有效
| 申请号： | 202020542268.9 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN211947204U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;呼雷 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 便于 设备 连接 体型 旋转 | ||
1.一种便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述便于与设备连接的一体型旋转靶材包括溅射靶材主体、分别设置于溅射靶材主体两端的设备连接端与端头连接端；
所述设备连接端螺纹连接有法兰，法兰与设备连接端的连接面设有放置O型密封圈的凹槽。
2.根据权利要求1所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述螺纹连接处的螺距为0.5-1mm。
3.根据权利要求1所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述溅射靶材主体的直径为155-180mm。
4.根据权利要求3所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述溅射靶材主体的长度为1000-3000mm。
5.根据权利要求1所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述设备连接端的直径为135-165mm。
6.根据权利要求5所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述设备连接端的长度为130-190mm。
7.根据权利要求1所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述溅射靶材主体包括Al溅射靶材主体、铝合金溅射靶材主体、Cu溅射靶材主体、铜合金溅射靶材主体、Ti溅射靶材主体或钛合金溅射靶材主体中的任意一种。
8.根据权利要求7所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述设备连接端包括Al设备连接端、铝合金设备连接端、Cu设备连接端、铜合金设备连接端、Ti设备连接端或钛合金设备连接端中的任意一种。
9.根据权利要求7或8所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述端头连接端包括Al端头连接端、铝合金端头连接端、Cu端头连接端、铜合金端头连接端、Ti端头连接端或钛合金端头连接端中的任意一种。
10.根据权利要求1所述的便于与设备连接的一体型旋转靶材，其特征在于，所述端头连接端连接有端头；
所述端头连接端与端头的连接方式包括焊接、法兰连接或螺纹连接中的任意一种或至少两种的组合。
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