[实用新型]一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具

说明书

本实用新型提供了一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，包括治具本体，设置于所述治具本体内部的夹持组件，以及设置于所述治具本体下方的对心组件；所述夹持组件包括约束于所述治具本体内且仅能沿所述治具本体径向移动的夹持单元，设置于所述夹持单元的尾部且仅能沿所述治具本体的轴线方向移动的顶块；所述对心组件包括对心板、轴体、驱动杆以及连杆。通过利用对心组件对治具相对工件自动对心，并且利用夹持组件顶撑夹持住工件的内壁，使得治具本体固定于工件上，避免因震动影响导致治具本体错位，同时其操作简单拆卸快速。

技术领域

本实用新型涉及工件检测技术领域，具体为一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具。

背景技术

蚀刻机中的Cap Mixer零组件为机台的核心零件，Cap Mixer在洗净过程中会使用物理喷砂去除附着物，客户要求对每次出货检测零件高度，用以掌握工件消耗程度(喷砂会造成母材消耗)，品保单位于出货前进行高度量测作业。因人工检测无法保证每一次都检测到同一个位置，客户要求每次量测需都是同一个点位(绝对位置)，检测出的数据才具备参考性。

专利号为CN201320442547.8的专利文献公开了的一种用于产品侧边测量的定位治具，包括底座，其特征在于：还包括两根螺杆、一个横向板和一个定位板，在底座上竖向固定有一定位板，在定位板的两侧分别设置有一根螺杆，横向板两端穿过两根螺杆，在横向板穿过螺杆位置的底部设置有固定块，在固定块内设置有与螺杆外螺纹配合的内螺纹，在定位板上还设置有若干定位孔，在定位孔内能够插设定位柱。

上述专利中公开的的一种用于产品侧边测量的定位治具，需要通过螺杆固定锁紧，其操作较繁琐，无法快速拆卸，影响工作效率。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型提供了一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，通过利用对心组件对治具相对工件自动对心，并且利用夹持组件顶撑夹持住工件的内壁，使得治具本体固定于工件上，避免因震动影响导致治具本体错位，同时其操作简单拆卸快速，解决了上述背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，包括治具本体，设置于所述治具本体内部的夹持组件，以及设置于所述治具本体下方的对心组件；

所述夹持组件包括约束于所述治具本体内且仅能沿所述治具本体径向移动的夹持单元，设置于所述夹持单元的尾部且仅能沿所述治具本体的轴线方向移动的顶块，所述顶块相对所述治具本体的下表面凸出设置；

所述对心组件包括对心板、轴体、驱动杆以及连杆，所述对心板约束于所述轴体上且仅能沿所述轴体的径向滑动，所述对心板沿所述轴体的圆周等距阵列设置若干组，所述驱动杆滑动套设于所述轴体内腔，所述驱动杆连接所述驱动杆和所述对心板并传递运动。

作为改进，所述夹持组件相对所述治具本体的圆周等距阵列设置多组。

作为改进，所述夹持单元包括：

尾套，所述尾套抵触所述顶块设置；

夹持头，所述夹持头套设于所述尾套中且仅能沿所述尾套的长度方向滑动；

弹性件a，所述弹性件a连接所述夹持头和所述尾套弹性回复；以及

弹性件b，所述弹性件b连接所述尾套和所述治具本体弹性回复。

作为改进，所述尾套的尾端设置为斜面。

作为改进，所述夹持头设置为柔性高摩擦系数橡胶。

作为改进，所述顶块抵触所述尾套的端面设置为斜面。