[实用新型]一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具

权利要求书

1.一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于：包括治具本体(1)，设置于所述治具本体(1)内部的夹持组件(2)，以及设置于所述治具本体(1)下方的对心组件(3)；

所述夹持组件(2)包括约束于所述治具本体(1)内且仅能沿所述治具本体(1)径向移动的夹持单元(21)，设置于所述夹持单元(21)的尾部且仅能沿所述治具本体(1)的轴线方向移动的顶块(22)，所述顶块(22)相对所述治具本体(1)的下表面凸出设置；

所述对心组件(3)包括对心板(31)、轴体(32)、驱动杆(33)以及连杆(34)，所述对心板(31)约束于所述轴体(32)上且仅能沿所述轴体(32)的径向滑动，所述对心板(31)沿所述轴体(32)的圆周等距阵列设置若干组，所述驱动杆(33)滑动套设于所述轴体(32)内腔，所述驱动杆(33)连接所述驱动杆(33)和所述对心板(31)并传递运动。

2.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，所述夹持组件(2)相对所述治具本体(1)的圆周等距阵列设置多组。

3.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，所述夹持单元(21)包括：

尾套(211)，所述尾套(211)抵触所述顶块(22)设置；

夹持头(212)，所述夹持头(212)套设于所述尾套(211)中且仅能沿所述尾套(211)的长度方向滑动；

弹性件a(213)，所述弹性件a(213)连接所述夹持头(212)和所述尾套(211)弹性回复；以及

弹性件b(214)，所述弹性件b(214)连接所述尾套(211)和所述治具本体(1)弹性回复。

4.根据权利要求3所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，所述尾套(211)的尾端设置为斜面。

5.根据权利要求3所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，所述夹持头(212)设置为柔性高摩擦系数橡胶。

6.根据权利要求4所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，所述顶块(22)抵触所述尾套(211)的端面设置为斜面。

7.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，还包括复位组件(4)，所述复位组件(4)一一对应所述夹持组件(2)设置，所述复位组件(4)的一端铰接于所述顶块(22)的上端，所述复位组件(4)的另一端铰接于所述驱动杆(33)上，所述复位组件(4)的转动中心铰接于所述治具本体(1)上。

8.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，所述连杆(34)设置为弹性伸缩杆。

9.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，所述驱动杆(33)驱动所述连杆(34)越过平衡位置后，所述驱动杆(33)抵触所述轴体(32)的底部，所述连杆(34)通过弹性力使所述对心组件(3)自锁。

10.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，其特征在于，所述治具本体(1)上等距阵列设置若干组的上下贯穿的检测孔(11)。