[实用新型]一种提升单面PERC电池转换效率的背膜结构

权利要求书

1.一种提升单面PERC电池转换效率的背膜结构，包括电池片（1），其特征在于：所述电池片的背面依次沉积有氧化铝膜（2）、氧化硅膜（3）、氮氧化硅膜（4）、氮化硅膜（5）。

2.根据权利要求1所述的提升单面PERC电池转换效率的背膜结构，其特征在于：所述氮化硅膜（5）设有两层，第一层氮化硅膜（51）的厚度38±5nm、折射率2.25±0.1，第二层氮化硅膜（52）的厚度46±5nm、折射率2.15±0.1。

3.根据权利要求1或2所述的提升单面PERC电池转换效率的背膜结构，其特征在于：所述氧化硅膜（3）的厚度5±2nm、折射率1.5±0.1。

4.根据权利要求1所述的提升单面PERC电池转换效率的背膜结构，其特征在于：所述氮氧化硅膜（4）的厚度25±5nm、折射率2.4±0.2。

5.根据权利要求1所述的一种提升单面PERC电池转换效率的背膜结构，其特征在于：所述氧化铝膜（2）厚度为10±2nm、折射率为1.6±0.05。

6.根据权利要求1所述的提升单面PERC电池转换效率的背膜结构，其特征在于：氧化铝膜（2）、氧化硅膜（3）、氮氧化硅膜（4）和两层氮化硅膜（5）相加的总膜厚为97nm-131nm，折射率为2.15-2.25，膜色为淡黄色。