[实用新型]一种镀膜用载具结构

权利要求书

1.一种镀膜用载具结构，其特征在于：包括底座(1)和多个载具舟片(2)，所述底座(1)上设有至少两个绝缘支撑杆(3)，所述多个载具舟片(2)层叠等间隔固定在各绝缘支撑杆(3)上，所述底座(1)的上表面为与水平面一定角度的斜面，各载具舟片(2)均与底座(1)的上表面平行，所述载具舟片(2)上设有容纳载片的凹槽(21)。

2.根据权利要求1所述的镀膜用载具结构，其特征在于：所述凹槽(21)内设有至少三个凸点(22)，所述凸点(22)的高度小于凹槽(21)的深度。

3.根据权利要求1所述的镀膜用载具结构，其特征在于：相邻两个载具舟片(2)之间且于绝缘支撑杆(3)处设有绝缘隔离套(4)，所述绝缘隔离套(4)套在绝缘支撑杆(3)上，所述底座(1)与载具舟片(2)之间且于绝缘支撑杆(3)处设有绝缘隔离套(4)，所述绝缘隔离套(4)套在绝缘支撑杆(3)上。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的镀膜用载具结构，其特征在于：所述底座(1)的上表面与水平面的斜面角度为β，1°≤β≤5°。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的镀膜用载具结构，其特征在于：所述多个载具舟片(2)从上至下分为奇数层和偶数层，奇数层的载具舟片(2)一侧设有第一舟片孔(23)，偶数层的载具舟片(2)的一侧设有第二舟片孔(24)，第一个奇数层的载具舟片(2)对应第一舟片孔(23)的位置设有第一电极块(5)，第一个偶数层的载具舟片(2)对应第二舟片孔(24)的位置设有第二电极块(6)，各第一舟片孔(23)内穿设有第一导电支撑杆(7)，所述第一导电支撑杆(7)与第一电极块(5)连接，各第二舟片孔(24)内设有第二导电支撑杆(8)，所述第二导电支撑杆(8)与第二电极块(6)连接。