[实用新型]存储器

权利要求书

1.一种存储器，其特征在于，包括：

衬底；

多条位线，形成在所述衬底上并沿着第一方向延伸；以及，

多条隔离线，形成在所述衬底上并沿着第二方向延伸，以使所述位线和所述隔离线相交界定出节点接触窗，并且所述隔离线包括第一隔离部和第二隔离部，所述第一隔离部将所述第二隔离部包覆在所述第一隔离部之内，并且所述第二隔离部的介电常数低于所述第一隔离部的介电常数。

2.如权利要求1所述的存储器，其特征在于，所述第二隔离部为形成在所述第一隔离部内的至少一空隙。

3.如权利要求2所述的存储器，其特征在于，所述第一隔离部包括沿着第二方向延伸至少两条延伸线，并且相邻的延伸线之间具有空隙。

4.如权利要求3所述的存储器，其特征在于，所述至少两条延伸线沿着隔离线的宽度方向排布；或者，所述至少两条延伸线沿着高度方向上下排布。

5.如权利要求3所述的存储器，其特征在于，所述第一隔离部还包括遮盖层，所述遮盖层至少覆盖所述至少两条延伸线，并延伸遮盖相邻的延伸线之间的空隙的开口。

6.如权利要求3所述的存储器，其特征在于，所述第一隔离部包括沿着隔离线的宽度方向间隔排布的第一延伸线和第二延伸线，所述第一延伸线的底部和所述第二延伸线的底部之间还形成连接线，以连接所述第一延伸线的底部和第二延伸线的底部。

7.如权利要求6所述的存储器，其特征在于，所述第一隔离部还包括第三延伸线，所述第三延伸线排布在所述第一延伸线和第二延伸线之间，并且所述第三延伸线均与所述第一延伸线和所述第二延伸线之间相互间隔。

8.如权利要求1所述的存储器，其特征在于，所述第一隔离部包括沿着第二方向延伸的至少两条延伸线，以及所述第二隔离部包括沿着第二方向延伸的绝缘线，相邻的延伸线之间具有所述绝缘线。

9.如权利要求8所述的存储器，其特征在于，所述第一隔离部还包括遮盖层，所述遮盖层覆盖所述至少两条延伸线和所述绝缘线，以将所述绝缘线封盖在内。