[实用新型]一种石英玻璃晶圆精密加工装置

权利要求书

1.一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上端安装有第一电机(2)，所述机架(1)上端关于第一电机(2)对称固定连接有支撑板(3)，两个所述支撑板(3)上端共同固定连接有安装板(4)，所述安装板(4)上端安装有第二电机(5)，所述第二电机(5)的输出端通过联轴器连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)通过第一轴承与安装板(4)转动连接，所述螺纹杆(6)的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒(7)，所述安装板(4)底部关于螺纹杆(6)对称固定连接有限位框(8)，所述螺纹套筒(7)环形侧壁上对称固定连接有限位杆(9)，所述限位杆(9)的另一端穿过对应的限位框(8)并向外延伸，位于所述限位杆(9)后方的限位框(8)上固定连接有刻度尺(10)，所述限位杆(9)和限位框(8)滑动连接，所述螺纹套筒(7)的下端固定连接有研磨盘(11)，位于所述研磨盘(11)正下方的机架(1)上端设有抛光箱(12)，所述抛光箱(12)底部的四角处均固定连接有支撑杆，且所述支撑杆的另一端固定连接在机架(1)上端，所述第一电机(2)的输出端通过联轴器连接有转轴(13)，所述转轴(13)通过第二轴承与抛光箱(12)箱底转动连接，所述转轴(13)上端穿过第二轴承并向抛光箱(12)内延伸，且固定连接有载物盘(14)，所述载物盘(14)上端开设有若干个放置槽(15)。

2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，其中一个所述支撑板(3)上固定连接有磨料箱(16)和水泵(17)，所述磨料箱(16)内填充有研磨液，所述磨料箱(16)和水泵(17)之间连通有抽水管，所述研磨盘(11)内开设有磨料腔(18)，所述磨料腔(18)腔底均匀等距的开设有若干个喷料孔(19)，所述水泵(17)的输出端连通有波纹管(20)，所述波纹管(20)的另一端穿过支撑板(3)并与磨料腔(18)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述抛光箱(12)箱口上固定连接有与研磨盘(11)相匹配的密封圈(21)，若干个所述放置槽(15)的大小不一。

4.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述抛光箱(12)箱壁上连通有清洗管(22)，所述清洗管(22)的另一端与水源连通。

5.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述机架(1)内设有储物柜(23)，所述储物柜(23)的柜门上安装有把手。

6.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述抛光箱(12)箱底连通有排水管(24)，所述排水管(24)的管壁上安装有管阀。

7.根据权利要求2所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述放置槽(15)槽底开设有若干个漏液孔(25)，所述磨料箱(16)的上箱壁上连通有补液斗。

8.根据权利要求2所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述抛光箱(12)箱壁上连通有排液管(26)，所述排液管(26)的另一端穿过支撑板(3)并向外延伸，且与磨料箱(16)相连通，所述排液管(26)上安装有管阀。

9.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述机架(1)底部的四角处均固定连接有橡胶垫。