[实用新型]一种分立器件晶圆快速扫描测试电路及其装置

说明书

本实用新型公开了一种分立器件晶圆快速扫描测试电路及其装置，其测试电路包括功率驱动模块、电流采样模块、开关、电压采样模块、使能模块，所述测试电路以工作特性分为A、B、C三个端口，从每个端口引出两根连接线分别为采样端口和输出端口，功率驱动模块用于向输出端口进行功率驱动，电流采样模块用于采样输出线路上的电流值，开关用于切换电路的电压闭环和电流闭环，电压采样模块用于采样采样端口的电压，使能模块用于控制测试电路的工作状态。本实用新型还相应的公开了一种分立器件晶圆快速扫描测试装置，能够实现对分立器件晶圆的大电流参数进行快速扫描测量，有效提高了测试效率。

技术领域

本实用新型涉及分立器件测试技术领域，尤其是一种分立器件晶圆快速扫描测试电路及其装置。

背景技术

在分立器件主要包括场效应管(MOS)、三极管(BJT)、二极管(DIODE)等。其中间产品晶圆需要进行预先测试，剔除失效的器件,合格的器件才会进行后面的封装工序,分立器件经常为单颗价值低，但批产量很大的品种,测试效率是非常重要的因素，提高测试效率可以大幅度提高投入产出比。

大电流参数对于MOS器件主要包括Rdson、Vfsd、Gfs等，对于三极管器件主要包括Vcesat、Hfe等，对于二极管器件主要包括Vf。当这些参数的测试电流过大时，会在测试电缆上引起明显压降，其压降的波动会对其它共衬底被测器件造成不可忽视的误差。

如果能进行并行测试，可以在投入增加不多的情况下大幅度提高测试效率，但是在进行并行测试时要考虑晶圆衬底流过大电流时每个颗粒的参考电平变化，并且大电流参数测试时都是进行脉冲测试，因此采用快速扫描测试方法。落。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供了一种分立器件晶圆快速扫描测试电路及其装置，能够实现对分立器件晶圆的大电流参数进行快速扫描测量，有效提高了分立器件晶圆大电流参数测试效率。

为了实现本实用新型的目的，所采用的技术方案是：

本实用新型公开了一种分立器件晶圆快速扫描测试电路及其装置，用于测试分立器件晶圆的大电流测试参数，其测试电路包括功率驱动模块、电流采样模块、开关、电压采样模块、使能模块，所述测试电路以工作特性分为A、B、C三个端口，从每个端口引出两根连接线分别为采样端口和输出端口，功率驱动模块用于向输出端口进行功率驱动，电流采样模块用于采样输出线路上的电流值，开关用于切换电路的电压闭环和电流闭环，电压采样模块用于采样采样端口的电压，使能模块用于控制测试电路的工作状态。本实用新型还相应的公开了一种分立器件晶圆快速扫描测试装置，能够实现对分立器件晶圆的大电流参数进行快速扫描测量，有效提高了测试效率。

方案进一步是：所述开关向上闭合时为电流闭环，向下闭合时为电压闭环。

方案进一步是：所述使能模块当其处于禁止状态时测量电路不工作，当其处于有效状态时测量电路工作，其状态由禁止转为有效状态的时间为7微秒。

方案进一步是：所述功率驱动模块其中包括运算放大器及其外围电路，其输出端与电流采样模块相连，其反相输入端与开关相连。

本实用新型的瞬态热阻测试电路的有益效果是：

本实用新型的一种分立器件晶圆快速扫描测试电路及其装置能够实现对分立器件晶圆的大电流参数进行快速扫描测量，有效提高了测试效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是一种分立器件晶圆快速扫描测试电路原理图；

图2是四工位测量MOSFET晶圆的实物连接图；

具体实施方式