[实用新型]一种分立器件晶圆快速扫描测试电路及其装置

权利要求书

1.一种分立器件晶圆快速扫描测试电路，用于测试分立器件晶圆的大电流测试参数，其特征在于：包括功率驱动模块（1）、电流采样模块（2）、开关（3）、电压采样模块（4）、使能模块（5）；

所述功率驱动模块（1）用于向输出端口进行功率驱动；

所述电流采样模块（2）用于采样输出线路上的电流值；

所述开关（3）用于切换电路的电压闭环和电流闭环；

所述电压采样模块（4）用于采样端口的电压；

所述使能模块（5）用于控制测试电路的工作状态。

2.根据权利要求1所述的分立器件晶圆快速扫描测试电路，其特征在于：所述功率驱动模块（1）中包括运算放大器及其外围电路，其输出端与电流采样模块（2）相连，其反相输入端与开关（3）相连。

3.根据权利要求1所述的分立器件晶圆快速扫描测试电路，其特征在于：所述使能模块（5）当其处于禁止状态时测量电路不工作，当其处于有效状态时测量电路工作，其状态由禁止转为有效状态的时间为7微秒。

4.一种基于权利要求1所述的分立器件晶圆快速扫描测试电路的漏电流并行测试装置，其特征在于，所述开关（3）向上闭合时为电流闭环，向下闭合时为电压闭环。