[实用新型]Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置

说明书

本实用新型提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整，避免重新投产，实现加工后再次使用的目的。该抛光装置包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保护板和左侧保护板；右侧保护板和左侧保护板安装在水平安装板的前侧；Sagnac型干涉仪组件安装在水平安装板的顶面，且其抛光面位于右侧保护板和左侧保护板之间；垂直安装板安装在水平安装板的后侧，且其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔；离子抛光机安装基板位于垂直安装板的后侧，且其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽；垂直安装板和离子抛光机安装基板通过连接件安装。

技术领域

本实用新型涉及光学加工技术领域，具体涉及一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，用于Sagnac型横向剪切干涉仪膜层面形的离子束抛光修整。

背景技术

Sagnac型横向剪切干涉仪是空间调制傅里叶变换成像光谱仪的核心部件，此类干涉仪性能稳定、体积小、重量轻且环境适应性强，特别适合太空和高空环境工作，因此，广泛应用于星载傅里叶变换成像光谱仪上。Sagnac干涉仪是用两个相同的半五角棱镜和接触面之间镀有半透半反的分束膜胶合而成。为尽量消除干涉仪的装夹应力，会在Sagnac干涉仪的上下两端面(非光学面)分别胶粘一定厚度的光学玻璃垫板。在进行胶合前，会分别对两个相同的半五角棱镜的反射面进行多层镀膜，增加反射率。由于Sagnac型干涉仪反射膜镀膜层一般有3～4层，工艺比较复杂，面形精度要求高，一般为八十分之一波长，而且胶合精度高、难度大。往往存在Sagnac干涉仪反射膜层脱落或胶合后膜层面形精度低，无法使用，只能重新投产新的干涉仪组件，造成人力、物力和财力损耗。

离子束抛光技术的原理是利用离子源发射的离子束在真空中轰击加工表面，利用轰击时发生的物理溅射效应去除光学元件表面材料，达到修正面形误差的目的。由于离子束抛光技术精度高、非接触加工，没有边缘效应，所以在光学加工应用越来越广泛。但现有的离子束抛光设备中，对抛光光学零件的安装方法均是通过边缘悬挂的方式，且加工的光学零件均为形状规则的透镜或反射镜。若需对复杂光学组件的膜层进行离子束抛光修整，还需考虑安装接口、安装精度、调整方法及离子束溅射保护等因素。

实用新型内容

本实用新型提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整，避免重新投产，实现加工后再次使用的目的。

为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现：

一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保护板和左侧保护板；所述右侧保护板和左侧保护板安装在水平安装板的前侧，且右侧保护板和左侧保护板能够沿水平安装板的前侧左右移动；Sagnac型干涉仪组件安装在水平安装板的顶面，且抛光面位于右侧保护板和左侧保护板之间；所述垂直安装板安装在水平安装板的后侧，其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔；所述离子抛光机安装基板位于垂直安装板的后侧，其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽；所述垂直安装板和离子抛光机安装基板通过连接件安装，所述连接件包括固定连接的头部和螺杆段，所述头部安装在T形槽内，所述螺杆段穿过T形槽与第一腰形孔连接。

进一步地，所述垂直安装板的中心位置设置有安装圆孔，所述离子抛光机安装基板的中心位置设置有球形凸起，所述球形凸起与安装圆孔配合安装，将垂直安装板安装在离子抛光机安装基板的中心位置。

进一步地，所述右侧保护板的底部设置有第二腰形孔，所述右侧保护板通过第二腰形孔与水平安装板连接，并通过第二腰形孔调节其遮挡位置，避免离子束溅射到其他非抛光面。

进一步地，所述左侧保护板的底部设置有第三腰形孔，所述左侧保护板通过第三腰形孔与水平安装板连接，并通过第三腰形孔调节其遮挡位置，避免离子束溅射到其他非抛光面。