[实用新型]Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置

权利要求书

1.一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：包括离子抛光机安装基板(1)、水平安装板(4)、垂直安装板(2)、右侧保护板(5)和左侧保护板(6)；

所述右侧保护板(5)和左侧保护板(6)安装在水平安装板(4)的前侧，且右侧保护板(5)和左侧保护板(6)能够沿水平安装板(4)的前侧左右移动；

Sagnac型干涉仪组件(3)安装在水平安装板(4)的顶面，且抛光面位于右侧保护板(5)和左侧保护板(6)之间；

所述垂直安装板(2)安装在水平安装板(4)的后侧，其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔(21)；

所述离子抛光机安装基板(1)位于垂直安装板(2)的后侧，其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽(11)；所述垂直安装板(2)和离子抛光机安装基板(1)通过连接件(8)安装，所述连接件(8)包括固定连接的头部和螺杆段，所述头部安装在T形槽(11)内，所述螺杆段穿过T形槽(11)与第一腰形孔(21)连接。

2.根据权利要求1所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述垂直安装板(2)的中心位置设置有安装圆孔(22)，所述离子抛光机安装基板(1)的中心位置设置有球形凸起(12)，所述球形凸起(12)与安装圆孔(22)配合安装，将垂直安装板(2)安装在离子抛光机安装基板(1)的中心位置。

3.根据权利要求2所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述右侧保护板(5)的底部设置有第二腰形孔(51)，所述右侧保护板(5)通过第二腰形孔(51)与水平安装板(4)连接，并通过第二腰形孔(51)调节其遮挡位置，避免离子束溅射到其他非抛光面。

4.根据权利要求3所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述左侧保护板(6)的底部设置有第三腰形孔(61)，所述左侧保护板(6)通过第三腰形孔(61)与水平安装板(4)连接，并通过第三腰形孔(61)调节其遮挡位置，避免离子束溅射到其他非抛光面。

5.根据权利要求1至4任一所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述水平安装板(4)的底面设置有减重凹槽(41)，用于减轻水平安装板(4)的重量。

6.根据权利要求5所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述第一腰形孔(21)为四个，所述垂直安装板(2)的水平方向和竖直方向各设置有两个；所述T形槽(11)为四个，所述离子抛光机安装基板(1)的水平方向和竖直方向各设置有两个。