[实用新型]一种CVD金刚石平板分束镜结构有效
申请号: | 202020418127.6 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN211826581U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 刘宏明;赵芬霞 | 申请(专利权)人: | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | G02B1/10 | 分类号: | G02B1/10;G02B1/00;G02B5/08 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 邓凌云 |
地址: | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cvd 金刚石 平板 分束镜 结构 | ||
本实用新型涉及激光光学技术领域,且公开了一种CVD金刚石平板分束镜结构,包括镜体,所述镜体的上端镀有一层反射薄膜,所述镜体为圆柱形结构,所述反射薄膜的直径尺寸与镜体的上端表面相同。本实用新型对高功率激光入射发热具有良好的散热作用,能够使得分束镜具有优秀的耐受激光功率得性能,使得分束镜的耐受激光功率得到大大的提高,使其适用范围更广。
技术领域
本实用新型涉及激光光学技术领域,尤其涉及一种CVD金刚石平板分束镜结构。
背景技术
在光学玻璃表面镀上一层或多层薄膜,这时一束光投射到镀膜玻璃上后,通过反射和折射,光束就被分为两束或更多束,这种镀膜玻璃就叫做分束镜。
目前的平板分束镜结构普遍存在耐受激光功率较低的问题,在高功率激光入射的时候镜体表面的热量很大,不能够进行有效的快速散热,使得分束镜表面不能够长时间承受高功率激光的入射,使得平板分束镜的适用范围受到一定程度的限制,不能很好的应用于特殊环境需要高功率激光入射时的使用。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中的平板分束镜结构普遍存在耐受激光功率较低的问题,在高功率激光入射的时候镜体表面的热量很大,不能够进行有效的快速散热,使得分束镜表面不能够长时间承受高功率激光的入射,使得平板分束镜的适用范围受到一定程度的限制,不能很好的应用于特殊环境需要高功率激光入射时的使用的问题,而提出的一种CVD金刚石平板分束镜结构。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种CVD金刚石平板分束镜结构,包括镜体,所述镜体的上端镀有一层反射薄膜,所述镜体为圆柱形结构,所述反射薄膜的直径尺寸与镜体的上端表面相同。
优选的,所述镜体的直径为25.4mm,厚度为3mm。
优选的,所述镜体的具体材质为CVD金刚石单晶,品级为光学级,400-1200nm波段透射率超过98%/cm。
优选的,所述反射薄膜具体为经抛光后厚度为532nm的二氧化硅膜。
优选的,所述镜体的上下两个端面均通过研磨设备研磨至Ra100nm的程度。
优选的,所述镜体的热导率大于2000W/m。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种CVD金刚石平板分束镜结构,具备以下有益效果:
该CVD金刚石平板分束镜结构,通过镜体的本身材质由CVD金刚石单晶制成,再配合表面镀有的反射薄膜为二氧化硅膜,金刚石原材料品级为光学级,400-1200nm波段透射率超过98%每厘米,金刚石上下两个表面的研磨度均研磨至Ra100nm,二氧化硅膜作为分束镜的入射面,利用特有的CVD金刚石材质热导率大于2000W/m,对高功率激光入射发热具有良好的散热作用,能够使得分束镜具有优秀的耐受激光功率得性能,使得分束镜的耐受激光功率得到大大的提高,使其适用范围更广。
而且该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现,本实用新型对高功率激光入射发热具有良好的散热作用,能够使得分束镜具有优秀的耐受激光功率得性能,使得分束镜的耐受激光功率得到大大的提高,使其适用范围更广。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种CVD金刚石平板分束镜结构的结构示意图。
图中:1镜体、2反射薄膜。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
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