[实用新型]防溢蒸晶圆蒸发台

权利要求书

1.防溢蒸晶圆蒸发台，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的上表面中间位置设置有台体(2)，且基板(1)的顶部开设有固定腔(4)，所述台体(2)的下表面中间位置焊接有底盘(5)，且台体(2)的底部固定安装有定位套(6)，所述台体(2)的下表面中间位置通过定位套(6)垂直活动安装有驱动轴(7)，所述台体(2)的外表面设置有罩壳(8)，且基板(1)的上表面焊接有和罩壳(8)相对应的固定座(11)，所述固定座(11)的横截面形状为圆环形，且固定座(11)靠近台体(2)的外表面位置开设有导腔(12)，所述罩壳(8)通过导腔(12)垂直活动安装在基板(1)的上表面位置，且罩壳(8)的内表面固定安装有隔热毡(13)和电阻丝(14)，所述隔热毡(13)包覆在电阻丝(14)远离台体(2)的外表面位置，所述台体(2)的顶部中间位置开设有晶圆夹腔(15)。

2.根据权利要求1所述的防溢蒸晶圆蒸发台，其特征在于，所述基板(1)的上下表面位置之间活动安装有四组固定栓(3)，四组所述固定栓(3)均匀分布在固定座(11)的四周。

3.根据权利要求1所述的防溢蒸晶圆蒸发台，其特征在于，所述底盘(5)和固定腔(4)相契合，且台体(2)通过底盘(5)以及固定腔(4)与基板(1)活动连接。

4.根据权利要求1所述的防溢蒸晶圆蒸发台，其特征在于，所述定位套(6)的上端和固定腔(4)的底部相对应，且驱动轴(7)的上端垂直固定安装在底盘(5)的下表面中间位置。

5.根据权利要求1所述的防溢蒸晶圆蒸发台，其特征在于，所述罩壳(8)的顶部为实芯结构，且罩壳(8)的上表面中间位置固定安装有拉把(9)和进气管(10)，所述拉把(9)设置在进气管(10)的前方，且进气管(10)的下端与罩壳(8)的顶部垂直贯穿连接。

6.根据权利要求1所述的防溢蒸晶圆蒸发台，其特征在于，所述台体(2)的上表面焊接有载重板(16)，且载重板(16)设置在晶圆夹腔(15)的内部，所述晶圆夹腔(15)的内部两侧位置均滑动安装有限位板(18)，两组所述限位板(18)相互远离的一侧外壁均和台体(2)相接触，且限位板(18)的下表面和载重板(16)的上表面相接触，两组所述限位板(18)组合成圆型结构。

7.根据权利要求6所述的防溢蒸晶圆蒸发台，其特征在于，所述罩壳(8)的内表面焊接有滑板(17)，且滑板(17)为漏斗型结构，所述滑板(17)和罩壳(8)之间夹角的角度为四十五度，且滑板(17)的底部和晶圆夹腔(15)相对应，两组所述限位板(18)的上表面分别固定安装在所述滑板(17)的底部两侧边缘位置。