[实用新型]一种自动化晶圆上下料装置

权利要求书

1.一种自动化晶圆上下料装置，其特征在于，包括横向设置的导轨一，导轨一上滑动连接有移动底座，移动底座上一体设置有电机座，电机座所在平面位于移动底座所在平面的下方，电机座上安装有电机，电机的输出轴上套设有齿轮，导轨一侧面对应齿轮沿长度方向设置有齿条，所述齿轮与齿条相啮合，所述移动底座上设置有安装座，安装座上竖直设置有立架，立架右侧中部竖直设置有导轨二，导轨二上通过滑块滑动连接有水平的升降架，立架上位于导轨二的前后两侧均竖直设置有可转动的丝杠，两根丝杠上的丝杠螺母与滑块对应一侧传动连接，升降架的长度方向与导轨一的长度方向垂直，升降架上沿长度方向设置有导轨三，升降架上通过导轨三滑动连接有料架，料架底部对应导轨三设置有滑槽，升降架的左右两侧均设置有气缸，气缸的活塞杆与料架的长度方向平行，两气缸的活塞杆伸出端分别通过连接件与料架的左右两侧相连接，料架的前端对应转盘设置有吸料组件。

2.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆上下料装置，其特征在于，所述吸料组件包括若干互相平行的横向杆，前后相邻的两根横向杆之间设置有若干纵向连接杆，所述横向杆下侧沿长度方向依次间隔设置有若干真空吸盘。

3.根据权利要求2所述的一种自动化晶圆上下料装置，其特征在于，与所述吸料组件相对应地设置有处理室，处理室内可转动地设置有竖直的转轴，转轴上沿轴向间隔设置有若干转盘，转盘与转轴相垂直，转盘上设置有若干排晶圆载台，转盘上位于转轴前后两侧的各晶圆载台对称分布，转盘前侧或后侧的各晶圆载台与各真空吸盘一一对应设置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种自动化晶圆上下料装置，其特征在于，所述电机座上设置有贯穿槽，齿轮下侧位于贯穿槽下方。

5.根据权利要求1-3任一项所述的一种自动化晶圆上下料装置，其特征在于，所述滑块右侧设置有支撑座，升降架设置在支撑座上。

6.根据权利要求1-3任一项所述的一种自动化晶圆上下料装置，其特征在于，所述导轨三左右对称设置有两条。