[实用新型]一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构有效
| 申请号: | 202020377673.X | 申请日: | 2020-03-23 |
| 公开(公告)号: | CN212955440U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
| 发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;李铁;马宗羽 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 尺寸 蓝宝石 晶体生长 用热场 结构 | ||
1.一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于它包括炉体、炉盖、上隔热屏、坩埚盖、坩埚、加热体和保温结构,炉体、炉盖为中空循环水结构,上隔热屏通过钼螺杆将堆叠在一起呈梯形状钼片接连在一起,钼片之间通过钼螺母间隔支撑,钼片中间留有圆形观察孔;坩埚盖为至少2层外径相同的圆环钼片通过钨丝连接在一起,每层圆环钼片中心设置有直径逐渐增大的通孔,圆环钼片之间通过钼螺母间隔;坩埚包括上半段、下半段两部分;上半段直径不变呈桶状,下半段坩埚直径逐渐变小呈梯形状,上半段与下半段为一体结构,且坩埚底部直径与托盘大小相同;保温结构由侧保温结构与底部保温结构构成,侧保温结构由至少10层直径不同的钼桶通过钨丝固定连接,底部保温结构由至少4层钼板通过钨丝连接固定,钼板之间通过钼螺母间隔固定。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于所述的加热体的钨棒上端与铜电极相连,一对铜电极连接板侧面留有固定加热体的钨杆用螺纹通孔。
3.根据权利要求2所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于所述的侧保温结构的钼桶层数10~15层,拼接钼桶的钼板厚度0.3~0.5mm,每层钼桶由4-8张80×100cm的钼板拼接而成,钼板拼接处用直径Φ2mm-Φ5mm的钨丝固定。
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