[实用新型]一种精准定位的纳米压印设备

权利要求书

1.一种精准定位的纳米压印设备，包括腔体(1)，且腔体(1)设有铰接的门，其特征在于：所述腔体(1)内壁顶面中部固定装配有支架(4)，所述支架(4)下端固定装配有承压板(3)，所述腔体(1)的内腔顶部固定装配有紫外灯(2)，且紫外灯(2)位于承压板(3)正上方，所述承压板(3)的中部开设有观察窗(13)，所述承压板(3)顶部四角处固定安装有线光源发射器(5)，所述线光源发射器(5)的光线于承压板(3)中心位置交汇形成荧光标记(14)，所述承压板(3)的底面吸附有软膜(6)，所述腔体(1)内腔底面中部固定装配有电机(11)，且电机(11)上固定装配有匹配的升降装置(10)，所述升降装置(10)的上端固定装配有加热底盘(9)，所述加热底盘(9)的上端固定装配有托盘(8)，所述托盘(8)上端插接有定位器(84)，所述托盘(8)上端吸附有基板(7)，且基板(7)卡接于定位器(84)内侧，所述基板(7)与软膜(6)平行、且上下对应。

2.根据权利要求1所述的一种精准定位的纳米压印设备，其特征在于：所述托盘(8)的顶面开设有环形真空槽(81)，且环形真空槽(81)的数量至少为两个，所述环形真空槽(81)上吸附有基板(7)，所述环形真空槽(81)内均匀开设有微孔(82)，且微孔(82)通过通道与托盘(8)外部相连通。

3.根据权利要求1所述的一种精准定位的纳米压印设备，其特征在于：所述托盘(8)边缘设有尺寸定位孔(83)，所述尺寸定位孔(83)内插接有定位器(84)，所述定位器(84)由两个一体形成的细杆组成，所述定位器(84)的两个细杆之间夹角为120度，所述定位器(84)细杆的内壁均与基板(7)外侧壁贴合。

4.根据权利要求1所述的一种精准定位的纳米压印设备，其特征在于：所述承压板(3)的底面设有真空卡槽(12)，所述软膜(6)吸附于真空卡槽(12)下方，所述真空卡槽(12)内设有连通承压板(3)外部的连通孔。