[实用新型]封装固体高纯金属有机化合物的容器有效

专利信息
申请号: 202020277438.5 申请日: 2020-03-09
公开(公告)号: CN212175034U 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 陈化冰;茅炳荣;蔡岩馨;陆平;江伟;朱熠;杜培文;沈斌 申请(专利权)人: 江苏南大光电材料股份有限公司
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/455
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 王玉国
地址: 215021 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 封装 固体 高纯 金属 有机化合物 容器
【权利要求书】:

1.封装固体高纯金属有机化合物的容器,包括瓶体(11)、进气管(7)以及出气管(10),其特征在于:所述瓶体(11)内设置有烧结片(13),将内腔分隔为上腔以及下腔,上腔的容积大于下腔的容积;瓶体顶部(8)具有加料口,加料口与上腔连通;进气管(7)进入到上腔与其连通,其进气口(9)具有用于对载气气流导向的气流导向结构;出气管(10)进入到下腔与其连通。

2.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:所述气流导向结构为一用以将气流导向瓶体顶部(8)的向上弯曲部,或者为一用以将气流导向瓶体内侧壁的向内侧壁偏折部,或者为一水平弯曲部,或者为一设置于进气口(9)下方的挡板。

3.根据权利要求2所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:向上弯曲部的出口方向与进气管(7)的载气气流进入流向呈一夹角,夹角角度为90°~180°,与向上弯曲部的出口正对的瓶体顶部(8)的底面区域为平面、曲面、或者平面与曲面结合的形状。

4.根据权利要求2所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:向内侧壁偏折部的出口方向与进气管(7)的载气气流进入流向呈一夹角,夹角角度为45°~90°。

5.根据权利要求2所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:水平弯曲部为沿着内侧壁的弧形管,弧形管的末端设置出口,或者弧形管上分散设置出口,出口朝向瓶体顶部(8),与出口正对的瓶体顶部(8)的底面区域为平面、曲面、或者平面与曲面结合的形状。

6.根据权利要求2所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:于进气口(9)下方的0~3cm处设置一挡板,挡板为平面形状、向上曲面形状或者向下曲面形状。

7.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:上腔与下腔的容积比不小于10:1。

8.根据权利要求7所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:上腔与下腔的容积比为10:1~20:1。

9.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:上腔的底部形状为矩形或圆锥形。

10.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:烧结片(13)的滤网孔径为5~200μm。

11.根据权利要求10所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:烧结片(13)的滤网孔径为10~80μm。

12.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:下腔的结构呈矩形或圆锥形。

13.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器,其特征在于:瓶体(11)具有裙边结构的底座,可置于恒温水浴槽中。

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