[实用新型]气体激光装置

说明书

本实用新型实施例提供一种气体激光装置，通过将第1端口朝向壳体的开口侧，将第2端口朝向背面侧，这样，在对气体供应部进行维护或维修时，维护或维修人员对需要更换的与第1端口连接的管道进行拆卸和更换，不对与不需要更换的第2端口连接的管道进行拆卸和更换，能够防止管道的错误拆卸以及管道的错误连接，从而保证气体激光装置的正常工作以及避免设备损坏的风险。

技术领域

本实用新型涉及激光领域，尤其涉及一种气体激光装置。

背景技术

在以往的技术中，气体激光装置具有壳体，在壳体内具有容纳激光气体的腔室、气体供应部、冷却部以及排气部，气体供应部具有多个端口，各个端口分别与壳体内的多个部件通过管道连接，例如，一个端口与壳体内的冷却部通过管道连接，一个端口与壳体内的排气部通过管道连接，一个端口与壳体内的腔室通过管道连接，另外，气体供应部内部的端口可以与连接腔室的端口通过管道连接。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

本实用新型的发明人发现，在现有的气体激光装置中，需要对气体供应部进行维护或维修，在维护或维修时一般需要对特定的管道进行拆卸和更换，例如，对通过端口与冷却部以及排气管连接的管道进行拆卸和更换。但是，存在错误的拆卸管道以及错误的连接管道的可能，从而导致气体激光装置无法正常工作以及设备损坏的风险。

本实用新型实施例提供一种气体激光装置，能够在对气体供应部进行维护或维修时，防止管道的错误拆卸以及管道的错误连接，从而保证气体激光装置的正常工作以及避免设备损坏的风险。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种气体激光装置，所述气体激光装置具有：腔室，其内部容纳激光气体；气体供应部，其将所述激光气体供应到所述腔室的内部；以及壳体，其内部具有所述腔室和所述气体供应部，并且所述壳体具有用于进入所述内部的开口和与所述开口相对的背面，所述气体供应部具有朝向所述开口的一侧的至少一个第1端口和朝向所述背面的一侧的至少一个第2端口。

根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述气体供应部具有至少两个所述第1端口和至少两个所述第2端口，至少两个所述第1端口相互邻近地设置，至少两个所述第2端口相互邻近地设置。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，各个所述第1端口相互平行地设置，各个所述第2端口相互平行地设置。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述第1端口朝向所述开口的一侧突出，所述第1端口突出的方向与垂直于所述开口的方向的夹角小于或等于45度。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述第1端口突出的方向垂直于所述开口。

根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述第1端口朝向所述开口的一侧突出，所述第2端口朝向所述背面的一侧突出，所述第1端口突出的方向和所述第2端口突出的方向相差180度。

根据本实用新型实施例的第七方面，其中，至少一个所述第1端口通过管道与所述壳体内的除了所述腔室和所述气体供应部以外的至少一个其他部件连接。

根据本实用新型实施例的第八方面，其中，所述气体供应部还具有至少一个第3端口，至少一个所述第2端口通过管道与至少一个所述第3端口连接。

根据本实用新型实施例的第九方面，其中，所述其他部件包括用于冷却所述腔室的冷却部，并且一个所述第1端口通过管道与所述冷却部连接。

根据本实用新型实施例的第十方面，其中，所述其他部件还包括排气部，并且另一个所述第1端口通过管道与所述排气部连接。