[实用新型]气体激光装置

权利要求书

1.一种气体激光装置，其特征在于，所述气体激光装置具有：

腔室，其内部容纳激光气体；

气体供应部，其将所述激光气体供应到所述腔室的内部；以及

壳体，其内部具有所述腔室和所述气体供应部，并且所述壳体具有用于进入所述内部的开口和与所述开口相对的背面，

所述气体供应部具有朝向所述开口的一侧的至少一个第1端口和朝向所述背面的一侧的至少一个第2端口。

2.根据权利要求1所述的气体激光装置，其特征在于，

所述气体供应部具有至少两个所述第1端口和至少两个所述第2端口，

至少两个所述第1端口相互邻近地设置，至少两个所述第2端口相互邻近地设置。

3.根据权利要求2所述的气体激光装置，其特征在于，

各个所述第1端口相互平行地设置，各个所述第2端口相互平行地设置。

4.根据权利要求1所述的气体激光装置，其特征在于，

所述第1端口朝向所述开口的一侧突出，所述第1端口突出的方向与垂直于所述开口的方向的夹角小于或等于45度。

5.根据权利要求4所述的气体激光装置，其特征在于，

所述第1端口突出的方向垂直于所述开口。

6.根据权利要求1所述的气体激光装置，其特征在于，

所述第1端口朝向所述开口的一侧突出，所述第2端口朝向所述背面的一侧突出，所述第1端口突出的方向和所述第2端口突出的方向相差180度。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的气体激光装置，其特征在于，

至少一个所述第1端口通过管道与所述壳体内的除了所述腔室和所述气体供应部以外的至少一个其他部件连接。

8.根据权利要求7所述的气体激光装置，其特征在于，

所述气体供应部还具有至少一个第3端口，

至少一个所述第2端口通过管道与至少一个所述第3端口连接。

9.根据权利要求7所述的气体激光装置，其特征在于，

所述其他部件包括用于冷却所述腔室的冷却部，并且一个所述第1端口通过管道与所述冷却部连接。

10.根据权利要求9所述的气体激光装置，其特征在于，

所述其他部件还包括排气部，并且另一个所述第1端口通过管道与所述排气部连接。