[实用新型]固晶旋转摆臂装置

权利要求书

1.固晶旋转摆臂装置，其特征在于，包括旋转座、驱动所述旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于所述旋转座上的摆臂机构；所述摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹、支撑所述气动夹的支撑臂和驱动所述气动夹转动的校正调节机构，所述支撑臂安装于所述旋转座上，所述校正调节机构与所述支撑臂相连。

2.如权利要求1所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述校正调节机构包括主动轮、从动轮、连接所述主动轮与所述从动轮的同步带和驱动所述主动轮转动的调节电机，所述从动轮套于所述气动夹上，所述调节电机安装于所述旋转座上，所述主动轮安装于所述调节电机的主轴上。

3.如权利要求2所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述校正调节机构还包括支撑块，所述支撑块安装于所述旋转座上，所述调节电机安装于所述支撑块上。

4.如权利要求3所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述校正调节机构还包括感应杆和用于探测所述感应杆的探测器，所述探测器安装于所述支撑块上，所述感应杆与所述调节电机之主轴相连。

5.如权利要求2所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述旋转座中设有收容腔，所述调节电机置于所述收容腔中。

6.如权利要求1-5任一项所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述摆臂机构还包括驱动所述支撑臂升降的升降机构，所述升降机构安装于所述旋转座上，所述支撑臂安装于所述升降机构上。

7.如权利要求6所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述升降机构包括导轨、滑动安装于所述导轨上的滑座、驱动所述滑座升降的音圈电机，所述音圈电机和所述导轨安装于所述旋转座上，所述支撑臂安装于所述滑座上。

8.如权利要求7所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述摆臂机构还包括与所述滑座相连的感应片和用于感测所述感应片的感应器，所述感应器与所述音圈电机相连。

9.如权利要求7所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述摆臂机构还包括尺标光栅和光栅读数头，所述尺标光栅安装于所述滑座上，所述光栅读数头与所述音圈电机相连。

10.如权利要求1-5任一项所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述固晶旋转摆臂装置包括多个所述摆臂机构，多个所述摆臂机构均匀分布于所述旋转座的周侧。