[实用新型]一种高效率自动微蚀系统

权利要求书

1.一种高效率自动微蚀系统，其特征在于：包括机架(1)、设于所述机架(1)以对基材(9)进行传送的传送装置、沿所述传送装置的传送方向依次设置的测厚装置(6)以及喷淋装置(7)；其中，所述测厚装置(6)包括第一安装架(61)，所述第一安装架(61)上设有对基材(9)进行厚度检测的X射线测厚仪本体(62)；所述喷淋装置(7)包括第二安装架(71)，所述第二安装架(71)安装有对基材(9)的铜层进行喷淋蚀刻的喷淋组件；另外，所述X射线测厚仪本体(62)以及喷淋组件电性连接有控制单元，所述控制单元用于控制所述X射线测厚仪本体(62)对基材(9)进行铜厚检测或根据基材(9)的铜厚控制所述喷淋组件的喷淋量的控制单元，且所述传送装置上设有用于对基材(9)进行定位检测的第一定位装置以及用于对基材(9)进行定位喷淋的第二定位装置。

2.根据权利要求1所述的一种高效率自动微蚀系统，其特征在于：所述传送装置包括安装于所述机架(1)相对两侧的固定座(13)、分别安装于两所述固定座(13)内且对称设置的两传送组件以及与所述传送组件相连以驱动所述传送组件沿所述机架(1)的长度方向对基材(9)进行传送的驱动组件；其中，所述机架(1)的顶部设有开口(121)，所述开口(121)的长度方向与所述机架(1)的长度方向一致，且所述X射线测厚仪本体(62)与所述喷淋组件均在所述机架(1)的上下方对称设有两组。

3.根据权利要求2所述的一种高效率自动微蚀系统，其特征在于：所述第一定位装置位于两组所述X射线测厚仪本体(62)之间，所述第一定位装置包括分别安装于两所述固定座(13)上的第一红外发射器(31)和第一红外接收器(32)，所述第一红外发射器(31)与所述第一红外接收器(32)电性连接，且所述第一红外接收器(32)与所述控制单元电性连接；其中，基材(9)相对的两侧设有夹具(5)，所述夹具(5)沿其长度方向间隔设有若干挡板(51)，所述挡板(51)位于两所述固定座(13)之间。

4.根据权利要求3所述的一种高效率自动微蚀系统，其特征在于：所述第二定位装置位于两组所述喷淋组件之间，所述第二定位装置包括分别安装于两所述固定座(13)上的第二红外发射器(41)和第二红外接收器(42)，所述第二红外发射器(41)与所述第二红外接收器(42)电性连接，且所述第二红外接收器(42)与所述控制单元电性连接，且所述第二红外发射器(41)的高度与所述第一红外发射器(31)的高度相等。

5.根据权利要求1所述的一种高效率自动微蚀系统，其特征在于：所述X射线测厚仪本体(62)朝向所述机架(1)的一侧沿所述机架(1)的长度方向均布有若干组检测头(63)，每组所述检测头(63)包括多个检测头(63)，多个所述检测头(63)沿与所述机架(1)的长度方向相垂直的方向均布设置。

6.根据权利要求1所述的一种高效率自动微蚀系统，其特征在于：所述喷淋组件包括安装板(72)、安装于所述安装板(72)的若干线性排列的喷头(73)以及与每个所述喷头(73)相连的供水管；其中，若干所述供水管连接有总管，所述总管上设有控制阀，所述控制阀与所述控制单元电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种高效率自动微蚀系统，其特征在于：所述安装板(72)通过滑动座(721)与所述第二安装架(71)滑动连接，其中，所述第二安装架(71)的一侧安装有用于驱动所述安装板(72)带动所述喷头(73)沿垂直于所述传送装置的传送方向滑动的驱动源，所述驱动源的输出端与所述滑动座(721)的一侧固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种高效率自动微蚀系统，其特征在于：所述驱动源为液压缸(8)，所述液压缸(8)的缸体固定安装在所述第二安装架(71)的侧壁上，所述液压缸(8)的活塞杆与所述滑动座(721)固定连接，且所述液压缸(8)的活塞杆的长度方向与所述传送装置的传送方向相垂直。