[实用新型]一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机有效
| 申请号： | 202020238511.8 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN212025441U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;缪磊;高众;姚伟 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 荣红颖;冯娟 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 pvd 镀膜 | ||
1.一种组合式PVD镀膜靶材，其特征在于，包括材质不同的靶材本体和底座，所述靶材本体与所述底座分体设置，所述底座的第一端与所述靶材本体的一端连接，将所述底座与所述靶材本体组合为一体；
所述底座的第一端与所述靶材本体的一端螺纹连接、套合连接或卡合连接；
所述底座包括底座本体和第二装配台阶，所述第二装配台阶自所述底座本体沿其轴向延伸；
所述第二装配台阶的中央部位设有凹槽，所述靶材本体的一端设于所述凹槽的内部。
2.根据权利要求1所述的组合式PVD镀膜靶材，其特征在于，所述底座还包括第一装配台阶，所述第一装配台阶自所述底座本体沿其径向延伸，所述第二装配台阶设于所述第一装配台阶的内周。
3.根据权利要求2所述的组合式PVD镀膜靶材，其特征在于，沿所述底座本体的轴向，所述第一装配台阶的高度与所述底座本体的高度相同，并低于所述第二装配台阶的高度；所述凹槽的内部和所述靶材本体的一端的外周设置匹配的螺纹结构。
4.根据权利要求3所述的组合式PVD镀膜靶材，其特征在于，所述第一装配台阶为均匀分布于所述底座本体外周的若干个弧面结构；所述第二装配台阶为圆筒状结构，所述靶材本体为圆柱状结构。
5.根据权利要求4所述的组合式PVD镀膜靶材，其特征在于，所述弧面结构沿所述底座本体的径向的外径为160mm，所述圆筒状结构的外径为154mm，所述圆柱状结构的外径为150mm。
6.根据权利要求1所述的组合式PVD镀膜靶材，其特征在于，所述底座采用304不锈钢、316不锈钢、铜合金或铝合金。
7.根据权利要求1所述的组合式PVD镀膜靶材，其特征在于，所述靶材本体为纯Cr靶。
8.一种PVD镀膜机，其特征在于，所述PVD镀膜机内设有如权利要求1-7任一项所述的组合式PVD镀膜靶材。
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