[实用新型]纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020231888.0 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689210U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 汪建华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 真空镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米真空镀膜仪，包括真空镀膜仪本体(1)，其包括蒸发源(2)、蒸发坩埚(3)以及真空镀膜室(4)，蒸发坩埚(3)位于真空镀膜室(4)底部，所述真空镀膜室(4)内设置有镀膜零件架，还包括电磁吸附装置(5)，其特征在于：所述镀膜零件架包括装载盘(6)和固定在装载盘(6)两侧的支杆，支杆外端可移动得设置在真空镀膜室(4)的内壁上，装载盘(6)上表面固定有电磁吸附装置(5)，真空镀膜室(4)顶部向下固定有直杆，直杆通过万向旋转连接头与装载盘(6)固定。
2.根据权利要求1所述的纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述真空镀膜室(4)内壁上固定有直线滑轨(10)，直线滑轨(10)上配合有滑块(11)，滑块(11)与支杆固定，。
3.根据权利要求1或2所述的纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述支杆包括多个杆体(7)，相邻两个杆体(7)之间通过万向轴(9)连接。
4.根据权利要求2所述的纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述直线滑轨(10)具有两个，且对立设置，二者连接线穿过装载盘(6)所在垂直线的圆心。
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