[实用新型]镀膜设备

说明书

本实用新型涉及一种镀膜设备。上述镀膜设备用于给基板镀膜，镀膜设备包括第一中频镀膜室和伸缩件，第一中频镀膜室包括第一中频靶底板和第一靶材，第一中频靶底板设有两个，两个第一中频靶底板错开设置且存在间隔，每一第一中频靶底板设有第一靶材，基板能够从间隔穿过，伸缩件连接于第一中频靶底板，且能够带动第一靶材靠近或者远离基板，进而给基板镀膜。上述镀膜设备，错开的两个第一靶材可以同时对基板进行镀膜，有效的提高了镀膜的镀膜效率，同时第一中频靶底板上的伸缩件可以带动第一靶材靠近或者远离基板，使基板的镀膜操作过程更加灵活。

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃镀膜结构的技术领域，特别是涉及一种镀膜设备。

背景技术

目前的镀膜机大多以单面镀膜为主，但单面镀膜的效率低，且操作过程较为单一，不灵活。

实用新型内容

基于此，有必要针对目前的镀膜机单面镀膜效率低下，且操作过程不灵活的问题，提供一种镀膜设备。

一种镀膜设备，用于给基板镀膜，所述镀膜设备包括：

第一中频镀膜室，包括第一中频靶底板和第一靶材，所述第一中频靶底板设有两个，两个所述第一中频靶底板错开设置且存在第一间隔，每一所述第一中频靶底板设有第一靶材，基板能够从所述第一间隔穿过；及

伸缩件，连接于所述第一中频靶底板，且能够带动所述第一靶材靠近或者远离基板，以使所述第一靶材给基板镀膜。

上述镀膜设备，每一第一中频靶底板设有一个第一靶材，两个第一中频靶底板错开设置，因此两个第一靶材也错开设置且存在第一间隔，基板从第一间隔穿过，第一靶材可以对基板的两侧进行镀膜，有效的提高了镀膜的镀膜效率，同时第一中频靶底板上的伸缩件可以带动第一靶材靠近或者远离基板，使基板的镀膜操作过程更加灵活。

在其中一个实施例中，所述伸缩件被液压缸驱动，或者被凸轮机构驱动，或者被滚珠丝杠机构驱动，或者被螺纹传动机构驱动。

在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括第二中频镀膜室，第二中频镀膜室连接于所述第一中频镀膜室，所述第二中频镀膜室设有两个第二中频靶底板，两个所述第二中频靶底板错开设置且存在第二间隔，每一所述第二中频靶底板设有第二靶材；基板能够从所述第一间隔进入所述第二间隔，以使所述第二靶材能够对基板镀膜。

在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括第一直流镀膜室和连接于所述第一直流镀膜室的第二直流镀膜室，所述第一直流镀膜室和所述第二直流镀膜室用于给基板镀膜，所述第一直流镀膜室与所述第二中频镀膜室连接；基板能够从所述第二中频镀膜室依次进入所述第一直流镀膜室和所述第二直流镀膜室。

在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括隔离室，所述隔离室位于所述第二中频镀膜室和所述第一直流镀膜室之间，基板能够从所述第二中频镀膜室经所述隔离室且进入所述第一直流镀膜室。

在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括第一缓冲室和连接于所述第一缓冲室的第一过渡室，所述第一缓冲室和所述第一过渡室用于预热基板，所述第一过渡室连接于所述第一中频镀膜室；基板能够从所述第一缓冲室经所述第一过渡室且进入所述第一中频镀膜室，以对预热的基板镀膜。

在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括第二缓冲室和连接于所述第二缓冲室的第二过渡室，所述第二缓冲室和所述第二过渡室用于冷却基板，所述第二过渡室连接所述第二直流镀膜室；基板能够从所述第二直流镀膜室经过所述第二过渡室进入所述第二缓冲室，以冷却已镀膜的基板。

在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括真空泵和连接于所述真空泵管的抽气管道，所述抽气管道连接于所述第一中频镀膜室，所述真空泵能够通过抽气管道抽出所述第一中频镀膜室内的空气。

在其中一个实施例中，所述抽气管道的材质为不锈钢。