[实用新型]一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置

说明书

本实用新型公开了一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，包括：槽体、设于槽体上的第一挡门机构以及与所述第一挡门机构相对设置的第二挡门机构，所述第一挡门机构包括弓形结构梁、分别固定于所述弓形结构梁两端的传动组件与转动组件以及固定于所述弓形结构梁上的挡门，所述弓形结构梁包括第一直段、与所述第一直段一体化连接的第一倾斜段以及与所述第一倾斜段固定连接的连接段，所述连接段固定连接有第二倾斜段，所述第二倾斜段一体化连接有第二直段。根据本实用新型，结构简单实用，能够防止干燥槽内液体溅出以及干燥槽内的气体溢出对人造成损害，而且该弓形挡门装置使用时磨损小，使用时间长。

技术领域

本实用新型涉及挡门装置的技术领域，特别涉及一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置。

背景技术

在半导体湿法工艺设备的使用上，批量式晶圆清洗工艺大多使用工艺槽体的装置，在对批量式晶圆进行干燥时通常会使用干燥槽，而且干燥槽在使用过程中常需要使用大量的酸液、碱液、有机溶液以及干燥工艺设备所需要使用的气体，而在不同的工艺区段需要对液体的喷溅以及气体的泄露进行全面性的防护措施，液体的喷溅以及气体的泄露会对人造成损害，一般会在工艺槽体上安装挡门装置，根据工艺槽的尺寸一般挡门装置会有过长的悬臂梁旋转机构，而过长的悬臂梁可能在使用上会产生潜在性的应力，所产生的应力会对悬臂梁造成的损耗，以使得挡门装置无法长期使用。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的目的是提供一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，结构简单实用，能够防止干燥槽内液体溅出以及干燥槽内的气体溢出对人造成损害，而且该弓形挡门装置使用时磨损小，使用时间长。为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，包括：

槽体、设于槽体上的第一挡门机构以及与所述第一挡门机构相对设置的第二挡门机构，所述第一挡门机构与第二挡门机构的结构相同；

所述第一挡门机构包括弓形结构梁、分别固定于所述弓形结构梁两端的传动组件与转动组件以及固定于所述弓形结构梁上的挡门，所述传动组件与转动组件均用于固定弓形结构梁且带动弓形结构梁进行转动；

所述弓形结构梁包括第一直段、与所述第一直段一体化连接的第一倾斜段以及与所述第一倾斜段固定连接的连接段，所述连接段固定连接有第二倾斜段，所述第二倾斜段一体化连接有第二直段。

优选的，传动组件包括第一转动固定轴，所述第一转动固定轴沿长度方向依次贯穿有台阶固定块以及转接块，所述第一转动固定轴固定于第一转接块，所述第一转接块固定于第一直段。

优选的，第一转动固定轴的一端上固定连接有曲柄连接件，所述曲柄连接件活动连接有驱动气缸。

优选的，转动组件包括第二转动固定轴，所述第二转动固定轴沿长度方向依次贯穿有垫片块、阶梯型安装块以及第二转接块。

优选的，所述垫片块固定于阶梯型安装块，第二转动固定轴固定于第二转接块，所述第二转接块固定于第二直段。

优选的，第一倾斜段与连接段之间形成夹角ɑ，所述ɑ夹角为100°-145°。

优选的，第二倾斜段与连接段之间形成夹角β，所述β夹角为100°-145°。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：通过台阶固定块与阶梯型安装块使得第一挡门机构与第二挡门机构安装于干燥槽上，当干燥槽内对晶圆进行干燥时，驱动气缸带动曲柄连接件转动，从而使得弓形结构梁转动，而弓形结构梁上固定有挡门，以使第一挡门机构与第二挡门上的挡门盖于干燥槽上，放置干燥槽内液体溅出以及气体的漏出对人造成损害，弓形结构梁为弓形结构，以使得弓形结构梁将剪切的作用力沿切面方向进行抵消，使得弓形结构梁可以稳定的旋转，减少一般的旋转梁的转动过程中，在梁内聚形成的应力使得梁措曲、微量弯折以及无法可预期形变产生，大大提高第一挡门机构与第二挡门机构使用期限。

附图说明