[实用新型]一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置

权利要求书

1.一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，其特征在于，包括：

槽体(30)、设于槽体(30)上的第一挡门机构(10)以及与所述第一挡门机构(10)相对设置的第二挡门机构(20)，所述第一挡门机构(10)与第二挡门机构(20)的结构相同；

所述第一挡门机构(10)包括弓形结构梁(101)、分别固定于所述弓形结构梁(101)两端的传动组件(105)与转动组件(106)以及固定于所述弓形结构梁(101)上的挡门(102)，所述传动组件(105)与转动组件(106)均用于固定弓形结构梁(101)且带动弓形结构梁(101)进行转动；

所述弓形结构梁(101)包括第一直段(1011)、与所述第一直段(1011)一体化连接的第一倾斜段(1012)以及与所述第一倾斜段(1012)固定连接的连接段(1013)，所述连接段(1013)固定连接有第二倾斜段(1014)，所述第二倾斜段(1014)一体化连接有第二直段(1015)。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，其特征在于，传动组件(105)包括第一转动固定轴(1051)，所述第一转动固定轴(1051)沿长度方向依次贯穿有台阶固定块(1052)以及转接块(1054)，所述第一转动固定轴(1051)固定于第一转接块(1054)，所述第一转接块(1054)固定于第一直段(1011)。

3.如权利要求2所述的一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，其特征在于，第一转动固定轴(1051)的一端上固定连接有曲柄连接件(104)，所述曲柄连接件(104)活动连接有驱动气缸(103)。

4.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，其特征在于，转动组件(106)包括第二转动固定轴(1064)，所述第二转动固定轴(1064)沿长度方向依次贯穿有垫片块(1061)、阶梯型安装块(1062)以及第二转接块(1063)。

5.如权利要求4所述的一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，其特征在于，所述垫片块(1061)固定于阶梯型安装块(1062)，第二转动固定轴(1064)固定于第二转接块(1063)，所述第二转接块(1063)固定于第二直段(1015)。

6.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，其特征在于，第一倾斜段(1012)与连接段(1013)之间形成夹角ɑ，所述ɑ夹角为100°-145°。

7.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，其特征在于，第二倾斜段(1014)与连接段(1013)之间形成夹角β，所述β夹角为100°-145°。