[实用新型]一种提高排气效率的排气装置

说明书

本实用新型公开了一种提高排气效率的排气装置，包括：槽体、设置于所述槽体上方对开设置的挡门、固定于所述挡门上的喷气机构以及与所述槽体连通的抽气机构；所述喷气机构包括第一喷气组件及与所述第一喷气组件对称设置的第二喷气组件，所述抽气机构包括连通于所述槽体一侧的第一抽气组件及与所述第一抽气组件对称设置于所述槽体另一侧的第二抽气组件。根据本实用新型，结构简单实用，喷气机构能够将氮气全面覆盖于晶圆的表面，抽气机构能够将氮气抽离于干燥槽内，喷气机构与抽气机构相结合使得干燥槽内氮气形成一循环气流，大大提高了干燥槽的干燥效率。

技术领域

本实用新型涉及排气装置的技术领域，特别涉及一种提高排气效率的排气装置。

背景技术

根据半导体晶圆在生产的过程中需要进行清洗，因此晶圆干燥技术不可或缺，一般的晶圆产品分为表面无加工的晶圆片、表面处理后的平整晶圆片、具有部份图案化的晶圆产品，对这些晶圆在干燥的时候，干燥槽上方喷气机构将氮气喷入干燥槽内，然后再通过抽气机构将干燥槽内的氮气抽离，因此若干燥槽体内的气体流动，不能形成一个良性的循环气流，会导致晶圆的干燥效果不明显，当喷气机构所喷出的氮气定向喷出时，使得槽体内的晶圆表面不能全面包裹氮气，会大大降低晶圆干燥的效果，而且抽气机构不能够有效的将干燥槽内的氮气及时抽离，槽体内的氮气不能形成气流，会影响晶圆干燥的效果。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的目的是提供一种提高排气效率的排气装置，结构简单实用，喷气机构能够将氮气全面覆盖于晶圆的表面，抽气机构能够将氮气抽离于干燥槽内，喷气机构与抽气机构相结合使得干燥槽内氮气形成一循环气流，大大提高了干燥槽的干燥效率。为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种提高排气效率的排气装置，包括：

槽体、设置于所述槽体上方对开设置的挡门、固定于所述挡门上的喷气机构以及与所述槽体连通的抽气机构；

所述喷气机构包括第一喷气组件及与所述第一喷气组件对称设置的第二喷气组件，所述第一喷气组件与第二喷气组件的结构相同；

所述抽气机构包括连通于所述槽体一侧的第一抽气组件及与所述第一抽气组件对称设置于所述槽体另一侧的第二抽气组件，所述第一抽气组件与第二抽气组件结构相同；

第一喷气组件包括固定于挡门上的喷流外罩及固定于所述喷流外罩内的导流管，所述导流管上连通有若干个喷嘴，每个喷嘴上固接有气动调节阀，所述气动调节阀用以控制气体流入喷嘴中；

第二抽气组件包括缓冲件，所述缓冲件连通有通气管道。

优选的，喷流外罩包括设有一开口的外罩盒，所述外罩盒上固接有外罩盖板，所述外罩盖板上阵列开设有通气孔。

优选的，外罩盒内一侧面上固定有固定柱，外罩盒远离所述固定柱的另一侧面上开设有通槽。

优选的，导流管上均匀开设有若干连接孔，所述连接孔上连通有喷嘴，所述连接孔的孔径沿导流管两端向中间的方向呈渐进式等比减小。

优选的，所述缓冲件包括设有一开口的通气盒及靠近所述开口的通气盒侧面上开设有连接通孔，所述通气盒的开口处固定有连接板，所述连接通孔连通有连接筒。

优选的，所述连接筒固定有连接有第一过渡连接筒，所述第一过渡连接筒固定连接有紧固连接件，所述紧固连接件固接有第二过渡连接筒，所述第二过渡连接筒固定连接有几字形通气管道。

优选的，所述喷嘴连接导流管的一端上固接有气动调节阀，所气动调节阀包括通气阀座及与所述通气阀座连通的气动调节管，所述通气阀座内固接有横断片，所述横断片上开设有一通气口，所述气动调节管内设置有推动杆，所述推动杆上端套设有弹簧，并且推动杆的低端与所述通气口相匹配。