[实用新型]一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机

权利要求书

1.一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机，包括抛光机构(1)，所述抛光机构(1)包括抛光机(101)、抛光盘(102)，所述抛光机(101)顶部设有所述抛光盘(102)，其特征在于：所述抛光机构(1)上设有位移机构(3)，所述位移机构(3)上设有清洁机构(2)，所述清洁机构(2)包括伸缩气缸(201)、连接板(202)、清洁支撑架(203)、电机一(204)、清洁刷辊(205)，所述伸缩气缸(201)伸缩杆上设有所述连接板(202)，所述连接板(202)后部焊接有所述清洁支撑架(203)，所述清洁支撑架(203)上且位于所述连接板(202)一侧设有所述电机一(204)，所述电机一(204)输出轴上设有所述清洁刷辊(205)，所述清洁刷辊(205)一侧设有水管(206)，所述水管(206)底部均匀分布有喷水嘴(207)。

2.根据权利要求1所述的一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机，其特征在于：所述位移机构(3)包括支撑板(301)、直线电机滑轨(302)、直线电机动子座(303)，所述抛光机(101)前部设有所述支撑板(301)，所述支撑板(301)上方设有所述直线电机滑轨(302)，所述直线电机滑轨(302)上设有所述直线电机动子座(303)。

3.根据权利要求1所述的一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机，其特征在于：所述位移机构(3)包括支撑板(301)、电机二(304)、丝杠(305)、位移块(306)、位移支架(307)，所述抛光机(101)前部设有所述支撑板(301)，所述支撑板(301)顶部设有所述位移支架(307)，所述位移支架(307)一侧设有所述电机二(304)，所述电机二(304)输出轴上设有所述丝杠(305)，所述丝杠(305)上通过螺纹连接有所述位移块(306)。

4.根据权利要求1所述的一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机，其特征在于：所述清洁刷辊(205)与所述清洁支撑架(203)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机，其特征在于：所述连接板(202)与所述伸缩气缸(201)通过螺钉连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机，其特征在于：所述伸缩气缸(201)呈垂直设置。